リン酸アルミニウムゲルマニウムリチウム（LAGP）

リチウムアルミニウムゲルマニウムリン酸塩スパッタリングターゲットの概要

リチウムアルミニウムゲルマニウムリン酸塩
スパッタリングターゲット

は

、リチウムイオン伝導性薄膜の作製に使用される複合リン酸塩セラミックターゲットであり、優れた構造安定性を示します。主に固体電解質薄膜、リチウムイオン電池機能層、および関連エネルギー材料の研究に使用されます。

当社は、各種PVDプロセスに対応可能な、組成制御性と安定した密度を備えたリン酸アルミニウムゲルマニウムリチウムスパッタリングターゲットを提供できます。技術サポートやソリューション提案については、直接お問い合わせ
ください。

製品の特徴

・リチウム系リン酸塩複合システム
・固体電解質薄膜に適応
・安定した構造と均一なスパッタリング
・高ターゲット密度
・優れた組成均一性
各種スパッタ装置に対応

リン酸アルミニウムゲルマニウムリチウムスパッタターゲットの応用

固体電解質薄膜作製：
本スパッタターゲットはリチウムイオン導電薄膜の成膜に広く用いられ、固体電池・薄膜電池研究における重要材料の一つです。
リチウムイオン電池機能層研究：
本スパッタリングターゲットはリチウムイオン電池関連機能層の作製に適し、薄膜構造がイオン輸送性能に与える影響の研究を促進します。
機能性酸化物・リン酸塩薄膜：
機能性リン酸塩薄膜の作製において、本材料はスパッタリングにより均一で再現性のある薄膜構造を実現可能です。
大学・研究機関における材料研究：
リチウムアルミニウムゲルマニウムリン酸塩スパッタリングターゲットは、
新規リチウム系固体電解質及び関連材料システムの研究において、大学・研究機関で広く利用されています。

よくある質問

Q1: リチウムアルミニウムゲルマニウムリン酸塩スパッタリングターゲットは主にどのような薄膜に使用されますか？
A1: 本ターゲットは主に、リチウムイオン伝導性薄膜および固体電解質関連の機能性薄膜の作製に使用されます。

Q2: 薄膜研究における本材料システムの利点は何ですか？
A2: その複合リン酸塩構造は、薄膜の構造安定性と組成均一性の向上に寄与し、体系的な研究に適しています。

Q3: このスパッタリングターゲットはどの成膜法に適していますか？
A3: 高周波スパッタリングなどの一般的な物理気相成長法で使用可能で、各種実験・パイロットスケール装置に対応します。

Q4: 薄膜成膜時の材料安定性は？
A4: 適切なプロセス条件下では、優れたスパッタ安定性と再現性を示します。

報告書

各バッチには以下が付属：
分析証明書（COA）
技術データシート（TDS）
安全データシート（MSDS）
第三者試験報告書（要請求）

当社を選ぶ理由当社は

長年

、

リン酸リチウム系および固体電解質関連のスパッタリングターゲットの調製・応用に注力してきました。様々な研究方向性に対し安定かつ信頼性の高いターゲットソリューションを提供し、お客様の薄膜実験の制御性と一貫性向上を支援します。