ニッケルクロム合金
ロータリーターゲットは、大面積機能性薄膜成膜および高効率産業用薄膜生産に適した高純度ニッケルクロム合金材料です。
各種直径・厚さ・構造のNiCrロータリーターゲットを提供し、装置マッチングとプロセス最適化をサポートします。カスタマイズ
ソリューションや技術
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高純度合金
優れたスパッタ密度
均一な薄膜成膜
高効率放電性能
大面積成膜システムに適応
カスタマイズ可能なバックプレーンとボンディング
信頼性の高いバッチ間一貫性
電子デバイス用薄膜成膜:NiCrロータリースパッタターゲットは、高均一な導電性薄膜の作製に利用でき、デバイス性能の安定性を向上させます。
大面積産業用薄膜:大面積コーティングや薄膜生産に適し、成膜速度と均一性を確保します。
複合材料の機能層:複合材料にNiCr機能層を成膜でき、導電性・耐熱性・耐食性を向上させます。
科学研究・プロセス開発:回転スパッタリングターゲットは研究開発段階のプロセス試験や新素材実験に適し、再現性のある成膜結果を実現します。
Q1: NiCr回転ターゲットの主な用途は?
A1: 電子機器用薄膜、大面積コーティング、複合材料用機能層、研究開発実験に広く使用されます。
Q2: どの成膜装置に対応していますか?
A2: 主流の回転ターゲット成膜装置と互換性あり。装置に合わせた直径・厚さのカスタマイズ対応可。
Q3: 使用中に破損しやすいですか?
A3: 高密度設計により放電安定性を確保し、ターゲット損傷や成膜ムラを低減します。
Q4: NiCr回転ターゲットの保管方法は?
A4: 乾燥した密閉容器での保管を推奨します。衝撃や湿気を避け、ターゲット性能の安定性を確保してください。
各ロットに付属:
分析証明書(COA)
物質安全データシート(MSDS)
寸法検査報告書
第三者機関による試験報告書はご要望に応じて提供可能です
当社は回転ターゲット供給分野で豊富な経験を有し、高純度・高密度のNiCr回転ターゲットとカスタマイズサービスを提供するとともに、完全な技術サポートにより、電子機器や産業用薄膜アプリケーションにおいて効率的かつ安定した成膜結果の実現を支援します。
分子式NiCr
外観金属銀灰色円筒管
結晶構造面心立方晶
内包装:汚染や湿気を防ぐため、真空パック袋に入れ、箱詰めします。
外包装:サイズと重量に基づき、カートンまたは木製クレートを選択します。