ニッケルモリブデン合金
スパッタリングターゲット
は、
主に耐食性と高い安定性を備えた機能性薄膜の成膜に使用されるニッケルモリブデン合金ターゲットです。
当社は、各種スパッタリング装置に対応し、組成比率を制御可能な高密度NiMoスパッタリングターゲットを提供しています。 技術
情報についてはお問い合わせ
ください。
安定したニッケル・モリブデン比率
緻密な合金微細構造
均一な膜構造
マグネトロンスパッタリングプロセスに適応
優れた耐食性
良好な動作安定性
耐食性機能性薄膜:高い化学的安定性を必要とする機能性薄膜の作製に広く使用され、複雑な環境下でのデバイス寿命を向上させます。
マイクロエレクトロニクス及び薄膜デバイス:構造的に安定した合金層を形成する一部のマイクロエレクトロニクスプロセスで使用され、膜均一性に関するプロセス要件を満たします。
構造・保護コーティング:一定の機械的・化学的安定性が求められる保護コーティング膜の作製に適用可能です。
研究・プロセス開発:研究機関における合金薄膜構造制御、スパッタリングパラメータ最適化、新規用途探索などの実験用途に適しています。
質問Q1: NiMoスパッタリングターゲットはどのスパッタリング法に適していますか?
A1: 従来型マグネトロンスパッタリングプロセスで使用可能です。具体的な方法は装置条件に基づき確認が必要です。
Q2: ターゲット内のニッケルとモリブデンの比率をカスタマイズできますか?
A2: はい、薄膜性能要件に基づき異なる組成比率のカスタマイズソリューションを提供可能です。
Q3: 堆積時のターゲットは安定していますか?
A3: 適切な電力・雰囲気条件下では堆積プロセスが安定し、膜の一貫性維持に寄与します。
Q4: 研究用途向けの小型ターゲットは対応可能ですか?
A4: はい、研究開発・検証段階に適した各種仕様を提供可能です。
各バッチには以下を添付:
分析証明書(COA)
技術データシート(TDS)
安全データシート(MSDS)
寸法検査報告書
第三者試験報告書はご要望に応じて提供可能
当社は合金スパッタリングターゲットの調製・加工を専門とし、組成管理・構造安定性・プロセス適応性を重視し、お客様に信頼性の高い薄膜成膜材料サポートを提供します。
分子式NiMo
外観表面が滑らかな銀白色の金属ターゲット
結晶構造体心立方晶構造
内包装:汚染や湿気を防ぐため、真空パック袋に入れ、箱詰めします。
外包装:サイズと重量に基づき、カートンまたは木製クレートを選択します。