チタン酸リチウム（酸化チタンリチウム）

チタン酸リチウムスパッタリングターゲット概要

チタン酸リチウム

スパッ

タリング

ターゲットは

先進的なセラミック材料であり、安定した単斜晶構造と優れた耐熱性・耐薬品性を備えています。Li₂TiO₃ターゲットは物理的気相成長（PVD）プロセスにおいて、リチウムとチタンの信頼性の高い供給源を提供します。

当社の高純度チタン酸リチウムスパッタリングターゲットは、高品質な原料と精密焼結技術を用いて製造され、高密度・低気孔率・均一な組成を保証します。包括的なアフターサービスを提供
しておりますので、ご質問がございましたらお気軽にお問い合わせ
ください。

製品の特徴

純度：≥99.9%
高密度
単斜晶相安定性
カスタム寸法：円形、矩形、リング形状ターゲット対応
ボンディング・バッキング：金属バッキングプレートオプション／ターゲットボンディング
サービス

チタン酸リチウムスパッタリングターゲットの用途

リチウムイオン電池
コーティング：先進陽極／固体電解質界面層
固体デバイス：固体リチウムイオン伝導体における薄膜
核融合エネルギー研究：トリチウム増殖用途向け薄膜コーティング
機能性酸化物層：誘電体またはイオン伝導層の成膜

よくあるご質問

Q1:
チタン酸リチウムスパッタリングターゲットは主に
どのような
薄膜に使用されますか？
A1: 本ターゲットは主に、リチウムイオン電池負極材料、機能性酸化物薄膜、固体電解質に関連する研究で一般的に使用される、機能性チタン酸リチウム薄膜の作製に使用されます。

Q2: 薄膜成膜におけるチタン酸リチウム材料の特性は？
A2: 本材料は化学的・構造的安定性に優れ、スパッタリング時に均一で緻密かつ安定した薄膜の形成を可能にします。

Q3: このスパッタリングターゲットに適した成膜プロセスは？
A3: チタン酸リチウムスパッタリングターゲットは、RFスパッタリングやDCスパッタリングなどのPVDプロセスに適しており、実験室規模からパイロットスケールの装置まで互換性があります。

Q4: チタン酸リチウムスパッタリングターゲットの使用・保管時の注意点は？
A4: 堆積プロセス中のターゲットの安定性と薄膜の品質を確保するため、乾燥した密閉環境での操作・保管を推奨します。空気への長時間の暴露は避けてください。

報告書

Li₂TiO₃の各バッチには、分析証明書（COA）
および化学物質安全データシート（MSDS）
が付属します。
第三者機関による元素純度および相組成分析は、ご要望に応じて提供可能です。
オプション：密度報告書、ボンディング仕様書、XRDによる相確認。