チタン・タンタル合金

チタンタンタル合金スパッタリングターゲット概要

チタンタンタル合金スパッタリング
ターゲット
は

、

高性能薄膜成膜用に特別に設計されています。チタンの強度とタンタルの耐食性を兼ね備え、医療、航空宇宙、精密電子機器分野におけるハイエンド用途に適しています。

当社は様々な組成比のチタンタンタル合金ターゲットを提供し、寸法や形状はお客様の仕様に合わせてカスタマイズ可能です。 製品情報についてはお問い合わせください
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製品の特徴

・精密な組成制御
・均一で緻密な微細構造
・安定したスパッタリング性能
・高い耐食性
・優れた生体適合性

チタンタンタル合金スパッタリングターゲットの用途

医療用インプラントコーティング：
人工関節、歯科インプラント等の表面に保護層を形成し、生体適合性と耐用年数を向上。
精密電子部品：
半導体デバイスにおける特殊機能層として、電子製品の信頼性と安定性を向上。
航空宇宙部品：
エンジンブレード等の重要部品に表面保護層を形成し、耐熱性・耐食性を強化。
高精度光学機器：
高性能光学フィルムを形成し、レンズ・センサー等の光学性能を向上。

よくある

質問Q1: チタン-タンタル合金ターゲットの特性は？
A1: チタンとタンタルの優れた特性を併せ持ち、強度を維持しながら卓越した耐食性を発揮します。

Q2: 組成比はどのように選定すべきですか？
A2: 用途により異なります。タンタル含有率を高めると耐食性が向上し、低減すると機械的特性を優先できます。

Q3: どのような仕様がありますか？
A3: 複数のサイズの円形ターゲットと様々な寸法の矩形ターゲットを提供しています。カスタム形状も対応可能です。

Q4: ターゲットの寿命はどのくらいですか？
A4: 標準的なプロセス条件下で、当社のターゲットは従来品比1.5倍以上の寿命を達成します。

報告書

各ロットに付属：
分析証明書（COA）

技術データシート（TDS）

安全データシート（MSDS）
寸法検査報告書
第三者機関による試験報告書はご要望に応じて提供可能です

当社を選ぶ理由

合金ターゲット材料の研究開発において10年以上の専門知識を有し、包括的な生産・試験設備を維持することで、すべてのターゲットに対する厳格な品質管理を実現しています。専門的な技術サポート
と迅速なアフター
サービスを提供し、信頼できるパートナーとしてご支援いたします。