チタニウム・ジルコニウム

チタンジルコニウムスパッタリングターゲット概要

チタンジル
コニ
ウム
スパッタリングターゲットは

、

チタンの軽量性と高強度、ジルコニウムの耐食性を兼ね備えた機能性合金ターゲットです。バイオメディシン、航空宇宙、化学的腐食防止などの分野における高性能薄膜の作製に広く利用されています。

当社は様々なチタン-ジルコニウム比率の合金ターゲットを提供し、多様なスパッタリングプロセス要件に対応するため、カスタム寸法、高密度ボンディング、表面処理サービスをサポートしています。カスタマイズプロセスについてはお問い合わせください
。

製品の特長

精密な組成
高密度かつ均一
優れた耐食性
優れた生体適合性
幅広いプロセス互換性

チタンジルコニウム合金スパッタリングターゲットの

応用例医療用インプラントコーティング：
人工関節、歯科インプラントなどの機能性表面コーティング。生体適合性と耐用年数を向上。
化学腐食防護技術：
バルブ、反応器等の機器用保護膜。酸・アルカリ及び高温腐食への耐性を提供。
航空宇宙部品：
エンジンブレードや締結部品等の重要部品向け高温酸化抵抗性コーティング。
電子部品：
半導体やセンサーにおける特殊機能層として、導電性と安定性を向上。

よくある質問

Q1：チタンジルコニウム合金ターゲットに適したスパッタリングプロセスは？
A1：直流マグネトロンスパッタリング、高周波スパッタリング等のプロセスに適用可能。膜特性に応じてパラメータ調整可。

Q2: チタンとジルコニウムの比率はどう選択すべきですか？
A2: ジルコニウム含有量が高いほど耐食性が強調され、低いほど機械的強度が優先されます。

Q3: ターゲットの標準寸法は？
A3: 標準製品は複数サイズあり、カスタム寸法も対応可能です。

Q4: 特別な保管条件は必要ですか？
A4: 湿気や表面酸化を防止するため、乾燥した密閉容器で保管してください。

報告書

各バッチに付属：

分析証明書（COA）

技術データシート（TDS）

安全データシート（MSDS）

寸法検査報告書
第三者試験報告書はご要望に応じて提供

当社を選ぶ理由

チタン-ジルコニウム合金ターゲットの成熟した製錬・加工技術を保有。厳格な工程管理により均一な組成と高密度を保証。材料選定のガイダンスからプロセス支援まで包括的なサービスを提供し、お客様のフィルム性能とコスト効率の最適化を支援します。