スタネート亜鉛（ZTO）（酸化スズ亜鉛）

スズ酸亜鉛スパッタリングターゲット概要スズ酸亜鉛スパッタリングターゲットは、

高純度ZnSnO₃粉末を高度なセラミック焼結プロセスで製造した複合酸化物セラミックターゲットです。本材料は酸化亜鉛と酸化スズそれぞれの優れた特性を統合し、卓越した半導体特性と機能性を発揮します。 物理的蒸着法（PVD）プロセスにおいて高品質ZnSnO₃機能性薄膜を堆積させるための基材として機能し、先進センシング、新エネルギー、光電子分野で幅広い応用が見込まれます。

当社は複数純度・寸法の高品質ZnSnO₃スパッタリングターゲットを提供し、ボンディング
サービスもオプションで対応可能です。技術サポートについてはお問い合わせください
。

製品の特徴

高純度複合酸化物
優れた半導体特性とセンシング特性
高密度・低気孔率
精密な化学量論比
専門的なボンディング
サービスを提供

スズ酸亜鉛スパッタリングターゲットの応用例

高性能ガスセンサー：ホルムアルデヒドやエタノールなどの揮発性有機化合物を検出する高感度・高選択性ガスセンサー膜を形成。
透明導電膜：ドーピング等のプロセスにより、透明電極・タッチスクリーン・次世代ディスプレイパネル用透明導電酸化膜として成膜。
光電子
デバイス・触媒：光検出器・光触媒膜・新規太陽電池の機能層形成に利用。
先進電子セラミックス：新規圧電素子、誘電体素子、強誘電体薄膜デバイスの研究において、機能性薄膜の原料材料として機能します。

よくある

質問Q1: ZnSnO3ターゲット材料の主な利点は何ですか？
A1: その中核的な利点は汎用性にあり、優れたガス検知特性、適度な透明性、触媒活性を備えた複合酸化物薄膜の成膜を可能にします。

Q2: ターゲット材料に適用される純度要件は？
A2: 通常、純度は≥99.9%でなければなりません。高性能センサー膜の場合、性能と一貫性を確保するため、99.99%（4N）以上の純度が推奨されます。

Q3: 適切なボンディング方法はどのように選択すべきですか？
A3: スパッタリング電力と放熱要件によります。従来レベルの電力では導電性接着剤による接合が適しています。高電力または長期運転の場合、十分な放熱と安定性を確保するため金属溶接（例：ろう付け）が推奨されます。

Q4: ターゲットの保管・維持管理方法は？
A4: 乾燥した清潔な環境下で、密閉・防湿容器に保管してください。 セラミック組成のため衝撃による破損を防止し、慎重に取り扱ってください。各バッチには以下が付属します：
分析証明書（COA）
技術データシート（TDS）
安全データシート（MSDS）
第三者試験報告書

（

ご要望に応じて提供

）当社を選ぶ理由

当社は複合酸化物機能性ターゲットのカスタマイズ開発・製造を専門としています。プロフェッショナルな技術ソリューションと信頼性の高い品質で、新規薄膜デバイスの研究開発・製造におけるお客様のニーズにお応えします。