ジルコニウムモリブデン合金スパッタリング
ターゲット
先進的な電子部品および保護コーティングにおいて均一かつ安定した薄膜堆積を実現する高性能金属ターゲットです。優れた密着性と導電性を備えた耐久性のある薄膜製造に最適です。
円形、矩形、カスタム形状など様々な形状・サイズのZrMoスパッタリングターゲットを供給。合金組成と表面仕上げを精密に制御。お客様の薄膜成膜要件に合わせたカスタマイズソリューション、技術指導、柔軟な包装オプションを提供。お問い合わせください。
高い熱伝導率・電気伝導率
均一な合金組成
優れた耐食性・耐酸化性
滑らかで欠陥のない表面
安定した薄膜成膜性能
厳密な寸法公差
RF/DCスパッタリング対応
低汚染・高純度
成膜層の強力な密着性
形状・サイズのカスタマイズ性
半導体:
高精度な電極・コンタクト層成膜に採用。
メモリデバイス:安定した電気特性を保証する薄膜部品に適用。
光学
コーティング:センサーやディスプレイの反射・導電性コーティングに適する。
工業用保護膜:機械・工具の耐摩耗・耐食性コーティングに最適。
質問Q1: ZrMoターゲットの出荷時の包装方法は?
A1: 各ターゲットは保護用静電気防止フィルムで個別包装後、真空密封し、酸化・傷・変形防止のため強化段ボール箱に梱包します。
Q2: ターゲットの形状・サイズ・組成はカスタマイズ可能ですか?
A2: はい。特定の成膜プロセス要件に対応するため、カスタム寸法・形状・合金比率を提供します。
Q3: ZrMoターゲットの推奨保管条件は?
A3: 表面の完全性と性能を維持するため、湿気や腐食性化学物質への直接暴露を避け、乾燥した清潔で温度が安定した環境で保管してください。
Q4: 純度と性能保証はどのようになっていますか?
A4: 当社のZrMoターゲットは、高い合金純度、低含有量、均一な微細構造を維持し、信頼性が高く一貫した薄膜成膜結果を保証します。
各バッチには以下の書類を添付:
第三者試験報告書(ご要望に応じて提供)
当社は、重要な薄膜用途向けに、一貫した合金組成、滑らかな表面、信頼性の高い性能を備えた高品質なZrMoスパッタリングターゲットを提供します。専門的な技術サポート、
柔軟なカスタマイズ、迅速なグローバル配送により、産業・研究顧客双方にとって最適な成膜結果を保証します。
分子式:ZrMo
外観銀灰色の緻密なターゲット材で、表面は滑らかで亀裂がない。
結晶構造体心立方(BCC)固溶体構造、均質で安定。
内包装:汚染や湿気を防ぐため、真空パック袋に入れ、箱詰めします。
外包装:サイズと重量に基づき、カートンまたは木製クレートを選択します。