ジルコニウム・チタン合金

ジルコニウムチタン合金スパッタリングターゲット概要

ジルコニウムチタン合金
スパ
ッタリング
ターゲット

は

、軽量で高安定性の機能性合金ターゲットであり、優れた膜密着性と耐食性を備えています。光電子薄膜、ハードコーティング、半導体関連成膜プロセスに広く使用されています。

当社は、異なる純度グレード、組成比率、各種サイズ・形状（円形、方形、管状、リング状ターゲット）のZrTiスパッタリングターゲットを製造可能で、カスタマイズされた抵抗率、密度、微細構造安定性をサポートします。小型実験用ターゲットから大型産業用コーティングターゲットまで、あらゆる加工能力を提供し、お客様の装置モデルに完全に対応可能です。お気軽にお問い合わせ
ください。

製品特長

・組成比率のカスタマイズ対応
・高密度かつ良好な膜均一性
・低不純物含有量
・優れた耐食性
・低粒子スパッタリング・低欠陥膜
・真空下での高い安定性
・多様な組立オプション
・長尺・回転ターゲットのカスタマイズ対応

ジルコニウムチタン合金スパッタリングターゲットの用途

光電子
薄膜形成：光学コーティング、変調薄膜、反射膜成膜に利用。
硬質保護コーティング：切削工具、金型、耐摩耗部品の薄膜強化に使用。
半導体
・電子分野：機能性薄膜、バリア層、電極保護層の形成に使用。
科学研究開発用途：大学・研究機関における新規薄膜材料の研究に使用。

よくある

質問Q1: ZrTiスパッタリングターゲットの標準的な純度は？
A1: 標準純度は99.5%です。薄膜用途向けに高純度化が可能で、酸素・炭素・窒素などの不純物含有量はプロセス要求に応じて制御できます。

Q2: ターゲットの包装方法は？長距離輸送に適していますか？
A2: ターゲットは三層構造（発泡緩衝材＋真空密封＋耐衝撃木箱）で包装され、国際輸送中の損傷を防ぎます。航空便・海上輸送に対応可能です。

Q3: ターゲットは特別な保管が必要ですか？長期保管で酸化しますか？
A3: 乾燥した密閉環境での保管を推奨します。 長期保管時は不活性保護袋への収納が可能です。ターゲット自体は安定していますが、湿気の多い環境を避けることで寿命を延ばせます。

Q4: 設置サポートやコーティングパラメータの提案は行っていますか？
A4: 装置モデルに基づいた適合ターゲット構造を提供し、初期プロセス提案（出力、プレスパッタリング時間など）により、迅速な安定生産達成を支援します。

報告書

各バッチに付属：
分析証明書（COA）
技術データシート（TDS）
物質安全データシート（MSDS）
第三者試験報告書

（

ご要望に応じて提供

）当社を選ぶ理由

当社は成熟したZrTiスパッタリングターゲット生産技術を保有し、高密度・低不純物・高均一性のターゲット品質を実現。光学コーティング、ハードコーティング、半導体薄膜向けに安定した信頼性の高い成膜性能を提供します。

カスタマイズ配合・サイズ対応、短納期、技術相談、長期供給保証を提供。厳格な品質管理システムと包括的な試験方法により、世界中の顧客に継続的かつ信頼性の高い製品・サービスを提供します。当社の材料は研究機関、コーティング工場、ハイエンド製造企業で広く採用され、薄膜製造における信頼できるパートナーです。