ジルコニウム・イットリウム合金
スパッタリングターゲットは、半導体、光電子薄膜、機能性コーティングの精密製造に広く使用される高純度・高密度の金属合金ターゲットです。
当社は様々なサイズ、形状、純度グレードのZrYスパッタリングターゲットを提供しています。 Zr:Y比率、ターゲット厚さ、直径、加工穴位置をカスタマイズし、様々なコーティング装置やプロセス要件に対応可能です。科学研究から工業的量産まで、安定した制御可能なターゲット性能と包括的な技術サポート
を提供します。今すぐお問い合わせください
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高純度材料
安定したスパッタリングのための緻密なターゲット表面
高い組成均一性
カスタマイズ可能なZr:Y比率
様々なサイズ・形状に対応
優れた高温薄膜成膜性能
良好な膜密着性
半導体
産業:機能性薄膜や電子デバイスの成膜に使用。
光電子
デバイス:透明導電膜や光学膜の成膜に使用。
高温コーティング:高温作動環境における保護膜の作製に使用。
研究開発:材料科学研究や新規薄膜構造の開発に応用。
質問Q1: ZrYスパッタリングターゲットの純度と組成はどのように管理されていますか?
A1: ターゲット純度は99.9%以上を達成可能。Zr:Y比率は顧客ニーズに応じてカスタマイズ可能。高い組成均一性が成膜安定性を保証。
Q2: ターゲットの包装方法は?
A2: 防湿・耐衝撃包装を採用。内層は真空密封または不活性ガス保護、外層は木箱または段ボール箱で補強し、安全な輸送を確保します。
Q3: 加工サービスは提供されていますか?
A3: 穴加工、バックプレート接合、表面研磨、寸法微調整などのカスタム加工サービスを提供。各種スパッタリング装置モデルに対応可能です。
Q4: ターゲットの保管方法は?
A4: 乾燥した遮光・防塵環境での保管を推奨します。湿気や汚染を避け、不活性ガス包装により寿命を延長可能です。報告書各ロットに付属:
分析証明書(COA)
技術データシート(TDS)
化学物質安全データシート(MSDS)
第三者試験報告書(要請求
当社は成熟したZrYスパッタリングターゲット製造プロセスと厳格な品質管理システムを有し、高純度・高密度・均一組成のスパッタリングターゲットを提供します。カスタマイズ加工と迅速な納品にも対応しており、研究用途から産業用コーティングまで信頼できるサプライヤーです。
分子式ZrY
外観表面が滑らかな銀灰色の緻密なターゲット材
密度約6.5 g/cm³
融点約1,850 °C
結晶構造六方最密充填 (HCP)
内包装:汚染や湿気を防ぐため、真空パック袋に入れ、箱詰めします。
外包装:サイズと重量に基づき、カートンまたは木箱を選択します。