コバルト・クロム・鉄・ニッケル
スパッタリングターゲットは、多金属複合ターゲットであり、成分の相乗的な堆積を可能にし、機能性および構造性薄膜の作製・研究に適しています。
様々なサイズ、成分比率、ボンディング方法のターゲットソリューションを提供し、プロジェクトレベルのコミュニケーションをサポートします。技術情報および価格についてはお問い合わせ
ください。
均一な組成と安定した微細構造
良好なスパッタリングプロセス安定性
高い成膜再現性
成分比率の
カスタマイズ
対応
複数サイズオプション
長期安定供給
機能性薄膜成膜:多機能薄膜の作製に適し、組成調整可能な薄膜構造と相乗的性能の実現を促進。
磁性・構造薄膜研究:磁性または構造薄膜研究で広く使用され、異なる元素比率下での性能評価を支援します。
耐摩耗性・耐食性コーティング:表面工学において、耐摩耗性と耐食性を備えた複合薄膜システムの作製に使用できます。
Q1: このターゲット材料はDCスパッタリングとRFスパッタリングのどちらに適していますか?
A1: 選択は具体的な装置条件に依存します。ほとんどの一般的なシステムと互換性があります。ターゲット材料のサイズと薄膜の要求に基づいて選択を決定することをお勧めします。
Q2: 非標準フィルム用のカスタムサイズをサポートしていますか?
A2: はい、装置キャビティと固定具の要件に応じてターゲット材料をカスタマイズできます。
Q3: 使用前にターゲット材料に特別な処理は必要ですか?
A3: 安定した薄膜品質を確保するため、表面洗浄とプレスパッタリングを推奨します。
Q4: 長期プロジェクト供給は可能ですか?
A4: はい、プロジェクトサイクルに応じたバッチベースの安定供給体制をサポートします。
各バッチに同梱:
分析証明書(COA)
物質安全データシート(MSDS)
サイズ検査報告書
第三者試験報告書はご要望に応じて提供可能
当社は多金属スパッタリングターゲットの研究開発と安定供給に注力し、完全な品質管理プロセスと成熟したカスタマイズ能力を有しています。科学研究や応用転換に適した信頼性が高くトレーサビリティのあるターゲットソリューションを提供し、薄膜プロジェクトの効率的な推進を支援します。
分子式CoCrFeNi
外観銀灰色金属
密度:8.0 g/cm³
融点:1,350
結晶構造面心立方
内包装:汚染や湿気を防ぐため、真空パック袋に入れ、箱詰めします。
外包装:サイズと重量に基づき、カートンまたは木箱を選択します。