カーボン

カーボンスパッタリングターゲット概要

カーボンスパッタリング
ターゲット
は
高純度炭素材料から製造され、高いターゲット密度と安定したスパッタリングプロセスを実現します。主に炭素系薄膜および関連機能性コーティングの作製に使用されます。

当社は多様なカーボンスパッタリングターゲットを提供し、カスタマイズサイズとプロセスマッチングをサポートします。技術仕様および見積もりについては直接お問い合わせ
ください。

製品特長

高純度炭素原料
緻密なターゲット構造
優れたスパッタリング安定性
高い膜均一性
柔軟なサイズ仕様
納期調整可能

カーボンスパッタリングターゲットの応用分野

炭素系機能性薄膜成膜：様々な機能要件を満たす均一な炭素薄膜の作製に適しています。
耐摩耗性・保護コーティング：基材の耐摩耗性や作動安定性を向上させる表面処理技術に用いられます。
電子・半導体
関連薄膜：高い材料純度とプロセス安定性が求められる薄膜プロセスに適用可能です。
プロセス開発とパラメータ最適化：研究・パイロット段階に適し、スパッタリング条件やプロセスルートの検証に使用。

よくある質問

Q1：カーボンスパッタリングターゲットはどのスパッタリングプロセスに適していますか？
A1：一般的なスパッタリングプロセスに適用可能。詳細は装置パラメータに基づき確認が必要です。

Q2：スパッタリングターゲットの一般的なサイズと仕様は？
A2: 複数の標準サイズに対応、要求に応じたカスタマイズも可能です。

Q3: 使用時のターゲット消耗は均一ですか？
A3: 適切なプロセス条件下では、ターゲットの侵食は均一で、スパッタリングプロセスは安定しています。

Q4: サンプルまたは小ロット購入は可能ですか？
A4: 初期試験や検証に便利なサンプルおよび小ロット注文に対応しています。

報告書

各ロットに付属：

分析証明書（COA）

技術データシート（TDS）

安全データシート（MSDS）

寸法検査報告書
第三者試験報告書

（

ご要望に応じて提供

）
当社を選ぶ理由

炭素系材料とスパッタリングターゲットを専門とし、安定した原料管理と加工能力を有しています。
迅速な問い合わせ対応により、お客様のプロジェクト推進を効率的に支援します。