カーボン

カーボン回転ターゲット概要

カーボン
回転ターゲットは高純度カーボン材料から製造され、連続スパッタリングおよび大面積薄膜成膜プロセスに適しています。高い成膜効率とターゲット利用率が求められる生産環境で主に使用されます。

当社は多様なカーボン回転ターゲットを提供し、長さ・外径・構造のカスタマイズ
をサポートします。最適なソリューションと見積もりについてはお問い合わせ
ください。

製品特長

高純度カーボン材料
安定した回転構造
高いターゲット利用率
連続生産に適応
優れた膜均一性
寸法カスタマイズ可能

カーボン回転ターゲットの応用例

大面積薄膜成膜：均一な被覆が求められる大面積薄膜作製プロセスに最適。
連続スパッタリング生産ライン：自動化生産環境において、生産効率向上とダウンタイム削減に貢献。
機能性カーボン系コーティング：厚み均一性と表面品質に高い要求があるカーボン系コーティングの作製に使用。
プロセススケールアップと量産検証：実験段階から大規模生産への移行時のプロセス検証に一般的に使用されます。

よくある質問

Q1: カーボンスピンニングターゲットと平面ターゲットの主な違いは何ですか？
A1: 回転ターゲットは使用時のターゲット利用率が高く、連続生産に適しています。

Q2: 回転ターゲットのサイズは装置モデルに合わせてカスタマイズできますか？
A2: はい、装置パラメータに合わせて設計可能です。

Q3: 回転ターゲットの使用安定性は？
A3: 適切なプロセス条件下では、回転プロセスは滑らかで、スパッタリング出力は安定しています。

Q4: プロジェクトテストや小ロット供給は対応可能ですか？
A4: サンプル検証および小ロット注文に対応しています。

報告書

各ロットに付属：

分析証明書（COA）

技術データシート（TDS）

安全データシート（MSDS）

サイズ検査報告書
第三者試験報告書

（

ご要望に応じて提供

）
当社を選ぶ理由

炭素系スパッタリングターゲット分野における継続的な供給実績とカスタマイズ経験を有し、設備ニーズに迅速に対応。安定した信頼性の高い炭素回転ターゲットソリューションを提供し、お客様のプロジェクト実施を効率的に支援します。