インジウム・スズ酸化物（ITO）

インジウム・スズ酸化物 ロータリーターゲット

インジウム錫酸化物 ロータリーターゲット（ITO）は、主に酸化インジウム（In2O3）と酸化スズ（SnO2）から成る高性能透明導電性酸化物ターゲットです。熱間静水圧プレス（HIP）または焼結プロセスを用いて高密度の円筒形ターゲットに加工され、チタンまたはステンレス鋼のチューブと組み合わされて回転構造を形成します。ITO薄膜は、フラットパネルディスプレイ（LCD、OLED）、タッチスクリーン、省エネルギーLow-E建築用ガラス、薄膜太陽電池、オプトエレクトロニクスデバイスに広く使用されており、現代のオプトエレクトロニクス産業において最も重要な透明導電膜材料のひとつとなっている。

当社のITOロータリーターゲットは、高い稼働率、良好なスパッタリング安定性、優れた膜均一性などの利点を有しています。その優れた導電性と光透過率は、現代のオプトエレクトロニクス産業において最も重要な透明導電膜となっています。弊社は包括的なアフターサービスを提供しております。どうぞ お問い合わせまでご連絡ください。

酸化インジウム錫ロータリースパッタリングターゲット(ITO)の製品ハイライト

高性能透明導電材料
優れたターゲット利用率
安定したスパッタリングと均一な成膜
優れた膜性能
幅広いアプリケーション
総合的なボンディングサービス
カスタマイズ可能な ソリューション

酸化インジウム錫ロータリーターゲット（ITO）の用途

ディスプレイとタッチ技術:LCD、OLED、タッチパネル製造の透明導電電極として使用され、優れた導電性と光透過性を提供する。
太陽電池：CIGS、CdTe、ペロブスカイト型などの薄膜太陽電池の透明電極層として使用され、光の透過率と変換効率を向上させる。
オプトエレクトロニクス 受光素子、エレクトロクロミックデバイス、先端透明導電膜開発のためのR&Dコーティングシステムなどに利用される。

弊社を選ぶ理由

業界における長年の専門知識
高純度・高品質材料の加工実績
総合的な ボンディングソリューション
安定した薄膜性能
プロフェッショナルなカスタマイズ能力
グローバルなサービスとサポート

よくあるご質問

Q1：ITOロータリーターゲットの構成は？

A1：ITOターゲットは酸化インジウム（In₂O₃）と酸化スズ（SnO₂）からなり、通常90：10の重量比です。

Q2: どのようなバッキングチューブ材料と接合方法がありますか？

A2: チタン管とステンレス管があります。接合方法には、爆発接合、拡散接合、HIP接合などがあり、優れた機械的・熱的性能を発揮します。

Q3: ITOターゲットにはどのようなスパッタリング条件が推奨されますか？

A3: 一般的な成膜には、導電性と透明性のバランスをとるために酸素分圧を制御したDCまたは中周波マグネトロンスパッタリングが使用されます。

Q4: 回転ターゲットの期待寿命または利用率はどのくらいですか？

A4: 回転式ターゲットは、システム設計にもよりますが、75-90%の利用率を達成することができ、平面ターゲット（30-40%）より大幅に高くなります。

Q5: 特定のスパッタリングシステム用にターゲットをカスタマイズできますか？

A5: はい。寸法、組成、チューブ材料、ボンディングタイプはすべて、お客様の装置やプロセスのニーズに応じてカスタマイズすることができます。

レポート

各バッチの製品には、以下のレポートが添付されます：
分析証明書（COA）
技術データシート（TDS）
製品安全データシート（MSDS）
ご要望に応じて、工業規格および研究規格に適合する第三者試験報告書をご提供いたします。