アルミン酸ストロンチウム（酸化アルミニウムストロンチウム）

ストロンチウムアルミナ酸化物スパッタリングターゲット概要

ストロンチウムアルミナ酸化物スパッタリング
ターゲット

は

、高透明性かつ安定した酸化物薄膜の作製に使用される機能性材料であり、光電子薄膜、絶縁層、新素材研究に広く応用されています。

当社は高純度・高密度のSr3Al2O6スパッタリングターゲットを提供し、多様なサイズ・形状でのカスタマイズに対応しています。各バッチの材料は厳格な焼結・試験工程を経ており、安定した放電、均一な材料消費、成膜時の良好な密着性を保証します。カスタマイズ仕様については随時お問い合わせください。

製品の特徴

高純度粉末

調製

高密度・均一構造
安定した成膜速度、優れた膜均一性
図面に基づく非標準加工
優れた熱安定性・耐クラック性
制御可能な表面仕上げ品質
ターゲット接合対応
多段階包装による安全

輸送ストロンチウムアルミナ酸化物スパッタリングターゲットの応用

光学
薄膜形成における透明性・構造安定性の向上
絶縁層成膜におけるデバイス誘電特性の改善
先進酸化物研究における新規材料システムの探索
機能性セラミック薄膜の研究開発（ラボレベル～パイロットスケール）に適する。

よくある質問

Q1: ストロンチウムアルミナ酸化物スパッタターゲットの一般的な製造方法は？
A1: 固体状態焼結、高温等方性プレス（HIP）等により高密度・低欠陥構造を得るのが一般的。

Q2: ターゲットは長期連続スパッタリングに使用できますか？
A2: 通常の電力範囲内で安定動作しますが、寿命延長のため装置負荷とターゲット厚さに応じた適切なスパッタリングパラメータ設定を推奨します。

Q3: Sr₃Al₂O₆ターゲットは吸湿性がありますか？
A3: 本材料はわずかな吸湿性を有します。未使用時は密閉容器での保管を推奨し、湿潤環境への長時間の曝露を避けてください。

Q4: 試験用の小サイズサンプルは提供可能ですか？
A4: 小型サンプル、小ブロック、または小型ターゲットを提供可能です。正式購入前に薄膜プロセスのテストを容易にします。

報告書

各ロットに付属：
分析証明書（COA）
技術データシート（TDS）
安全データシート（MSDS）
第三者試験報告書（ご要望に応じて提供

）当社を選ぶ理由？

無機酸化物スパッタリングターゲット分野において、成熟した材料調製システムを有しています。 前駆体粉末の管理から最終焼結・仕上げまで、プロセス基準を厳守し製品の安定性とロット間均一性を確保しています。様々なスパッタリングキャビティやプロセス条件に応じたカスタマイズソリューションを提供可能で、お客様のニーズに迅速に対応できる包括的なアフターサービス体制を整えています。さらに、長年にわたり海外の研究機関や企業顧客にサービスを提供してきた豊富な国際物流経験を有しており、お客様の研究所や工場へ製品を確実かつ安全に、かつタイムリーにお届けします。