アルミニウム酸窒化物スパッタリングターゲットは、高度な薄膜蒸着アプリケーション用に設計された最高品質のセラミックターゲットです。優れた光学的透明性、高硬度、化学的安定性を併せ持つAlONターゲットは、光学、エレクトロニクス、保護層に使用される耐久性のある透明コーティングや機能性フィルムの製造を可能にします。
当社のAlONスパッタリングターゲットは、組成と微細構造を精密に制御した高純度原料から製造されており、安定したスパッタリングレート、均一な膜質、優れた密着性を保証します。また、アフターサービスも万全です。 お問い合わせお問い合わせください。
高純度アルミニウム酸窒化物：≥99.9
安定したスパッタリングのための高密度で均一な微細構造
優れた光学的透明性と機械的硬度
優れた化学的および熱的安定性
RFおよびDCスパッタリングシステムとの互換性
カスタムサイズおよび形状が可能
光学およびディスプレイ用の透明保護および反射防止コーティング
工業用工具および部品用の硬質耐摩耗性コーティング
航空宇宙および防衛用途の機能性薄膜
透明導電層または絶縁層を必要とする電子デバイス
レーザー光学およびセンサー技術
分析証明書（COA）
製品安全データシート（MSDS）
密度および純度試験報告書
オプションの第三者品質検証
優れたフィルム品質のための超高純度原料
精密製造による高密度と均一性
ターゲット選択とスパッタリングプロセス最適化のための包括的な技術サポート
信頼性の高いロジスティクスとドキュメントサポートによるグローバルサプライチェーン
信頼できるアルミニウム酸窒化物サプライヤー、技術革新と顧客満足へのコミットメント
化学式Alm_2093↩OᵧNᵌ
外観緻密で研磨されたセラミック製円板または長方形のターゲット
密度約3.7～3.9g/cm³。
融点：2100 °C（分解する）
結晶構造立方晶スピネル型構造
熱伝導率中～高、スパッタリング性能に最適化されている。
危険物として分類されていない
包装：コンタミネーションや湿気から保護するため、真空パックされている。
外箱サイズと重量に応じて、カートンまたは木箱。
壊れやすい対象物：安全な輸送を確保するため、特別な保護梱包を使用します。
