アルミニウムスカンジウム合金スパッタリングターゲットは、高性能薄膜蒸着用に設計されたプレミアム材料で、機械的強度、熱安定性、耐食性を向上させます。特定のニーズに合わせて組成やサイズをカスタマイズできるほか、包括的なアフターサービスも提供しています。
高純度の原材料と精密な冶金技術を用いて製造された当社のAlScスパッタリングターゲットは、均一な組成、緻密な微細構造、優れたスパッタリング性能を保証します。標準組成にはAl-1wt%Sc、Al-2wt%Sc、Al-3wt%Scがあり、ご要望に応じてカスタム比率も承ります。
純度:99.9%以上
標準およびカスタムAl/Sc比(1%、2%、3%など)
強化された機械的強度と熱安定性
優れた耐食性
均一で緻密な微細構造
DCおよびRFスパッタリングシステムに対応
膜の密着性と均一性の向上
航空宇宙用コーティング構造部品用軽量高強度膜
エレクトロニクス導電性と耐久性を向上させる薄膜
保護膜過酷な環境用の耐食性層
研究開発先端材料研究とデバイス製造
分析証明書(COA)
製品安全データシート(MSDS)
ご要望に応じた第三者試験
化学式AlSc
外観銀色灰色
融点約640~660℃(Sc含有量により異なる)
熱伝導率約120~140W/m・K
電気伝導率約3.0~4.0×10⁷S/m
結晶構造スカンジウム析出物を含む面心立方(FCC)
磁気特性:非磁性
危険物として分類されていない
包装:コンタミネーションや湿気から保護するため、真空パックされている。
外箱サイズと重量に応じて、カートンまたは木箱。
壊れやすい対象物:安全な輸送を確保するため、特別な保護梱包を使用します。