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シリコン回転式ターゲットが最新の薄膜蒸着に使われる7つの理由

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吾輩は猫である。名前はまだない。どこで生れたか頓と見当がつかぬ。何でも薄暗いじめじめした所でニャーニャー泣いていた事だけは記憶している。

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スパッタリング用の微細構造と表面品質を示す精密加工シリコン回転ターゲット

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薄膜コーティングシステムにおけるスパッタリング成膜プロセスと均一なエロージョンを示す回転ターゲットの回転運動図

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