リン酸リチウム

リン酸リチウムスパッタリングターゲット概要

リン酸リチウム
スパッタリングターゲットは、先端エレクトロニクスおよびエネルギー用途における薄膜成膜プロセス向けに特別に設計された高純度セラミック材料です。Li₃PO₄ターゲットは、優れた膜均一性と密着性を備えた固体電解質、電池部品、機能性コーティングの製造に不可欠です。

当社のLi₃PO₄スパッタリングターゲットは、高密度、相純度、低不純物レベルを特徴とします。円形や矩形を含む様々なサイズ・形状で提供され、研究用途から産業用薄膜製造まで、お客様の特定の要求に応じたカスタマイズが可能です。ご質問がございましたらお問い合わせ
ください。

製品の特徴

純度：≥99.9%
均一なスパッタリングと薄膜品質を実現する高密度
サイズ・形状のカスタマイズ対応
材料選定に関する技術サポート
小規模研究から大規模産業まで柔軟な注文数量

リン酸リチウムスパッタリングターゲットの用途

固体電池：高イオン伝導性薄膜電解質の作製
電子デバイス：リチウムイオン伝導体および機能層用コーティング

光学
コーティング：透明で耐久性のある機能性コーティングへの応用

よくある質問

Q1: リン酸リチウムスパッタリングターゲットは主にどのような薄膜に使用されますか？
A1: 本ターゲットは主にリン酸リチウム機能性薄膜の作製に使用され、固体電解質、リチウム電池材料、機能性セラミック薄膜の研究に広く応用されています。

Q2: 薄膜作製におけるリン酸リチウム材料の特徴は？
A2: 本材料は優れた化学的・構造的安定性を有し、スパッタリング時に均一で再現性の高い薄膜構造を形成可能です。

Q3: このスパッタリングターゲットはどの成膜プロセスに適していますか？
A3: リン酸リチウムスパッタリングターゲットは、RFスパッタリングやDCスパッタリングなどのPVDプロセスで使用可能で、様々な実験室規模およびパイロットスケールの装置に対応しています。

Q4: リン酸リチウムスパッタリングターゲットの使用および保管時に注意すべき点は？
A4: 乾燥した密閉環境での操作・保管を推奨します。空気への長時間の暴露を避け、成膜プロセス中のターゲット安定性と薄膜品質を確保してください。

報告書

Li₃PO₄の各ロットには分析証明書（COA）
と安全データシート（MSDS）
が付属します。
第三者機関による分析結果もご要望に応じて提供可能です。
XRD、SEM、密度に関する報告書はオプションで対応いたします。