リチウム・アルミニウム・コバルト酸化物

リチウムアルミニウムコバルト酸化物スパッタリングターゲットの概要

リチウムアルミニウムコバルト酸化物
スパッタリングターゲット

は

、構造安定性と電気化学的性能のバランスを保ちながらリチウムコバルト系複合酸化物薄膜を調製するための機能性セラミックターゲットです。主にリチウムイオン電池関連薄膜、電気化学機能層、新エネルギー材料の研究に使用されます。

各種成膜プロセスに対応可能な組成比調整型LixAlCo₁₋yO₂スパッタリングターゲットを提供可能です。技術情報・ソリューションサポートについては直接お問い合わせ
ください。

製品特長

リチウムコバルト系複合酸化物体系
構造安定性向上のためのアルミニウム元素導入
均一な薄膜成膜に適応
化学組成の制御可能性
高ターゲット密度
各種スパッタ装置との互換性

リチウムアルミニウムコバルト酸化物スパッタターゲットの応用例

リチウムイオン電池薄膜材料研究：
リチウムイオン電池関連機能性薄膜の作製、および異なる構造・組成条件下における薄膜正極材料の電気化学的挙動研究に広く利用されます。
固体電池・薄膜電池：
固体電池および薄膜電池分野において、本スパッタリングターゲットは活性層または機能層の成膜に使用でき、膜の均一性と構造安定性を向上させます。
機能性酸化物薄膜の作製：
本材料は機能性酸化物薄膜の物理的気相成長（PVD）に適しており、エネルギー貯蔵や電子デバイス研究において優れた適応性を示します。
材料科学および大学研究：
研究機関や大学研究室において、新規リチウム系酸化物薄膜の組成制御や性能研究に広く利用されています。

よくある質問

Q1: リチウムアルミニウムコバルト酸化物スパッタリングターゲットは主にどのような薄膜に使用されますか？
A1: 本ターゲットは主にリチウムコバルト系複合酸化物薄膜の成膜に使用され、電気化学・エネルギー材料研究で広く見られます。

Q2: アルミニウム導入が薄膜に与える影響は？
A2: アルミニウムは材料の構造安定性を向上させ、成膜時および使用時の薄膜均一性をある程度高めます。

Q3: このスパッタリングターゲットはどのスパッタリング法に適していますか？
A3: DCスパッタリングやRFスパッタリングなどの一般的なPVDプロセスで使用可能で、様々な装置条件に適応します。

Q4: ターゲット材料はスパッタリング中に安定していますか？
A4: この材料系は適切なプロセス条件下で良好なスパッタリング安定性を示し、連続的または反復的な成膜実験に適しています。

報告書

各バッチには以下が付属：
分析証明書（COA）
技術データシート（TDS）
物質安全データシート（MSDS）
第三者試験報告書（要請求

）当社を選ぶ理由

当社はリチウム系および遷移金属酸化物スパッタリングターゲットの調製・応用に特化しています。調整可能な組成と安定した性能を備えたターゲットソリューションを提供し、様々な研究・プロセス要件に対応。お客様の薄膜調製における制御性と再現性の向上を支援します。