コバルト酸リチウム

リチウムコバルト酸化物スパッタリングターゲット概要

リチウムコバルト酸化物
スパッタリングターゲットは、LiCoO₂機能層の薄膜堆積用に設計されたセラミック酸化物ターゲットです。精密な組成制御と安定した堆積挙動が要求される電池薄膜、マイクロエネルギーデバイス、電気化学研究において広く使用されています。

ULPMATは、制御された化学量論組成と緻密な微細構造を有するリチウムコバルト酸化物スパッタリングターゲットを供給します。RFスパッタリングおよびマグネトロンスパッタリングプロセスに適しており、均一な薄膜成長、安定したスパッタリング速度、再現性のある薄膜性能を実現するよう設計されています。

製品の特徴

信頼性の高い薄膜化学を実現する化学量論組成のLiCoO₂
安定したスパッタリング挙動を支える緻密なセラミック構造
均一な微細構造による一貫した膜厚
RFおよびマグネトロンスパッタリングシステムへの適合性
一般的な基板との良好な密着性
電池および電気化学薄膜用途向けに設計

リチウムコバルト酸化物スパッタリングターゲットの応用

薄膜リチウムイオン電池：
リチウムコバルト酸化物スパッタリングターゲットは、薄膜およびマイクロ電池デバイス用のカソード層堆積に使用されます。
マイクロエレクトロニクス＆MEMS：
LiCoO₂薄膜は、電子デバイスと統合されたマイクロエネルギー貯蔵部品に適用されます。
電気化学・エネルギー材料研究：
本ターゲットは、薄膜形態におけるリチウムイオン輸送と電気化学的性能の研究において、学術・産業研究で広く使用されています。
機能性酸化物薄膜
：リチウムコバルト酸化物ターゲットは、先進的なエネルギー関連用途向けの機能性酸化物コーティングの開発を支援します。

よくある質問

Q1: リチウムコバルト酸化物ターゲットに適したスパッタリング法は？
A1: リチウムコバルト酸化物スパッタリングターゲットは、通常RFまたはマグネトロンスパッタリングシステムで使用されます。

Q2: スパッタリング中のリチウム損失は懸念されますか？
A2: 適切なターゲット設計と最適化されたスパッタリングパラメータにより、膜組成を維持しリチウムの揮発性を低減できます。

Q3: これらのターゲットはバッキングプレートにボンディングできますか？
A3: はい、システム要件に応じて適切なボンディングオプション付きで供給可能です。

Q4: LiCoO₂薄膜と互換性のある基板は何ですか？
A4: 一般的な基板には、シリコンウェーハ、ガラス、サファイア、薄膜電池研究で使用される金属基板などがあります。

報告書

各バッチには以下が付属：
分析証明書（COA）
技術データシート（TDS）
安全データシート（MSDS）
サイズ検査報告書
第三者試験報告書はご要望に応じて提供可能

ULPMATを選ぶ理由

ULPMATは先進エネルギー・機能性酸化物材料に特化し、電池・薄膜研究向けスパッタリングターゲット用途において、管理された品質、技術サポート、信頼性の高い供給を提供します

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