リチウム・ニッケル・マンガン・コバルト酸化物 NMC

リチウムニッケルマンガンコバルト酸化物スパッタリングターゲット概要

リチウムニッケルマンガンコバルト酸化物スパ
ッタ
リング
ターゲットは、高密度・高均一性を特徴とする機能性材料ターゲットであり、薄膜作製や科学研究実験に用いられます。リチウムイオン電池の正極膜、固体電池、機能性コーティングの成膜に広く活用されています。

高密度・高均一性のNMCスパッタリングターゲットを提供可能です。サイズ、厚さ、形状はお客様のご要望に応じてカスタマイズできます。サンプルおよびカスタマイズソリューションについてはお問い合わせください
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製品の特徴

高密度設計による均一な薄膜成膜
安定した結晶構造による信頼性の高い成膜結果
サイズ・厚さ・形状のカスタマイズ対応
研究開発から産業用薄膜製造まで幅広く対応
精密表面仕上げによる低欠陥率
技術チームによる迅速な対応

リチウムニッケルマンガンコバルト酸化物スパッタリングターゲットの応用例薄膜

カソード材料製造：
高性能リチウムイオン電池用カソード薄膜の成膜に用いられ、サイクル安定性と電気化学特性を向上。
全固体電池研究：
全固体電池薄膜成膜をサポートし、界面均一性とイオン伝導性を確保。
機能性コーティング：
光電子デバイス、センサー、マイクロエレクトロニクス構造における高精度薄膜製造に使用され、緻密で均一な薄膜を保証。

よくある質問

Q1: NMCスパッタリングターゲットに適した成膜プロセスは？
A1: マグネトロンスパッタリング、電子線蒸着、その他の従来型PVDプロセスに適しています。

Q2: ターゲットのサイズと厚みはカスタマイズ可能ですか？
A2: はい、お客様の装置要件に応じて様々な仕様をご用意可能です。

Q3: 堆積膜の均一性はどの程度ですか？
A3: ターゲットの高密度性と最適化された結晶構造により、高い膜均一性と結晶品質を保証します。

Q4: ターゲット表面の欠陥率は高いですか？
A4: ターゲット表面は精密研磨を施しているため、欠陥率が低く、高精度薄膜製造に適しています。

報告書

各ロットに付属：
分析証明書（COA）

技術データシート（TDS）

安全データシート（MSDS）
寸法検査報告書
第三者機関による試験報告書はご要望に応じて提供可能です

当社を選ぶ理由

機能性材料スパッタリングターゲット製造における豊富な経験に基づき、カスタマイズされた高品質NMCスパッタリングターゲットを提供し、科学研究および産業応用における薄膜成膜の安定性と効率性を保証します。技術チームは迅速な対応と専門的なサポートを提供し、お客様の高精度薄膜作製を実現します。