二酸化ケイ素
ウエハー
は
、優れた熱安定性、化学的不活性、表面平坦性を備えた高純度酸化ケイ素シートです。半導体製造、マイクロエレクトロニクスデバイス、光学
薄膜成膜に広く使用されています。
当社は様々な仕様のSiO2ウエハーを提供し、サイズ、厚さ、プロセス適合に関する技術統合をサポートします。 今すぐお問い合わせください
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高い熱安定性と化学的不活性
平坦性の高い滑らかな表面
カスタマイズ可能なサイズと厚さ
半導体および光学薄膜プロセスに適応
優れたプロセス適合性
半導体デバイス製造:
電子デバイスの基板や絶縁材料として使用でき、デバイス性能と信頼性を向上させます。
微細電子薄膜成膜:
微細電子薄膜の作製に使用され、膜の密着性と厚み均一性を確保します。
光学薄膜用途:
光学機能膜、反射防止膜、透明導電膜の作製に適しています。
研究・プロセス検証:
新素材・薄膜プロセスの研究支援、成膜パラメータやプロセス効果の検証に活用。
Q1:SiO₂ウエハーはどのようなプロセスで使用できますか?
A1:主に半導体デバイス製造、マイクロエレクトロニクス薄膜成膜、光学薄膜作製に使用されます。
Q2:酸化ケイ素ウエハーは高温プロセスで安定していますか?
A2: SiO₂ウェーハは高い熱安定性を有し、高温プロセスにおいても構造と性能を維持できます。
Q3: ウェーハの表面平坦性は用途に影響しますか?
A3: 高い平坦性は均一な薄膜成膜と安定したデバイス性能を保証します。
Q4: SiO₂ウェーハは直接薄膜成膜に使用できますか?
A4: はい、半導体および光学機能性薄膜成膜用の基板として適しています。
各ロットに付属:
分析証明書(COA)
技術データシート(TDS)
安全データシート(MSDS)
サイズ検査報告書
第三者試験報告書はご要望に応じて提供可能
当社はシリコン酸化物ウエハー供給分野で豊富な経験を有し、研究開発および応用段階における薄膜成膜とデバイス製造の一貫性と信頼性を実現するため、高安定性でトレーサビリティのあるSiO₂ウエハーを提供します。
分子式:SiO2
分子量: 60.08 g/mol
外観白色ウェハー
密度:2.65 g/cm³
融点:1710 °C
沸点:2230 °C
結晶構造:正方晶/六方晶(石英)
内包装:汚染や湿気を防ぐため、真空パック袋に入れ、箱詰めします。
外包装:サイズと重量に基づき、カートンまたは木箱を選択します。