金属チタン

チタン金属ロータリーターゲット概要

チタン金属
ロータリーターゲットは、大面積かつ連続的なPVDコーティングプロセス向けに設計されており、チタン薄膜の安定かつ効率的な堆積を可能にします。フラットパネルディスプレイ、建築用ガラスコーティング、光学
フィルム、産業用表面処理技術において広く使用されています。

当社のチタンロータリーターゲットは、均一な侵食と長寿命を実現するよう設計されています。プロセス適合性やコーティング性能要件についてご相談ください。

製品の特徴

・高密度チタン素材
・均一な侵食プロファイル
ターゲット利用率の高さ
安定したスパッタリング特性
低欠陥発生率
高出力スパッタリングへの適応性
大面積コーティング能力
優れた熱伝導性

チタン金属回転ターゲットの応用分野

フラットパネルディスプレイコーティング：
ディスプレイ製造における連続スパッタリングをサポートし、広範囲の基板上で安定した膜厚と組成を実現。
光学機能膜：
回転式チタンターゲットは、大規模コーティングシステムにおける光学層の均一な堆積を可能にし、コーティングの再現性とスループットを向上させます。
工業用表面処理：
回転スパッタリングで生成されたチタンコーティングは、工業部品の耐摩耗性、耐食性、表面機能性を高めるために適用されます。
高スループット生産ライン：
回転設計により、より長い中断のないスパッタリング運転が可能となり、チタン回転ターゲットは大量生産環境に適しています。

よくある

質問Q1: 大面積チタンコーティングに回転ターゲットが好まれる理由は？
A1：回転ターゲットはより均一な侵食と高い材料利用率を実現し、大型基板全体で安定した成膜速度を維持します。

Q2: 回転スパッタリングは膜厚均一性にどう影響しますか？
A2: 連続回転によりターゲットの均一な消耗が保証され、長時間のコーティングサイクル中も厚み変動が低減され膜の均一性が向上します。

Q3: チタン回転ターゲットは高出力運転に適していますか？
A3:はい。回転構造が放熱性を向上させ、高出力密度下でも安定したスパッタリングを可能にします。

Q4: チタン回転ターゲットは主にどのコーティングシステムで使用されますか？
A4:ガラスコーティング、ディスプレイ製造、産業規模のPVDライン向けインラインスパッタリングシステムで一般的に使用されます。

報告書

各バッチには以下が付属：

分析証明書（COA）

技術データシート（TDS）

安全データシート（MSDS）

寸法検査報告書
第三者試験報告書（要請求）

当社を選ぶ理由

安定性と長寿命を追求したロータリースパッタリング材料に注力し、高スループットコーティング環境における一貫したチタン膜成膜を実現します。