、チタンカーバイドと二酸化チタンで構成され、TiCの高い硬度と導電性と、TiO₂の化学的安定性および酸化皮膜特性を兼ね備えています。 この複合ターゲットは、薄膜の機械的特性、電気的特性、表面機能性を制御するために使用でき、機能性コーティング、耐摩耗性薄膜、多機能複合薄膜の作製に広く利用されています。
当社は、DCまたはRFマグネトロンスパッタリングプロセスに適した、均一な組成と緻密な構造を持つTiC–TiO2スパッタリングターゲットを提供できます。 お客様の装置要件に応じ、様々なサイズ・形状・ボンディング
ソリューションを提供し、研究用途から産業応用まで対応可能です。
TiCの高硬度とTiO₂の機能性酸化物特性を融合
複合設計により薄膜の電気的・機械的特性を制御可能
優れた化学的安定性と環境適応性
緻密なターゲット構造で安定したスパッタリングプロセスを実現
各種PVD薄膜成膜プロセスに適用可能
耐摩耗性・機能性複合コーティング：
耐摩耗性と表面機能性を併せ持つ複合薄膜の作製が可能。機械部品やエンジニアリング表面に適する。
機能性酸化物・複合薄膜：
複合スパッタリングにより、機械的特性と機能特性を両立した薄膜構造が得られる。機能性デバイス研究やエンジニアリング応用に適する。
表面改質・材料改質：
表面硬度・安定性・機能応答性の同時向上が求められる材料システムに適する。
研究・プロセス開発：
複合薄膜システムの研究やプロセスパラメータ最適化のため、大学・研究機関・研究所で広く利用される。
質問Q1: 炭化チタン-二酸化チタンスパッタリングターゲットの主な特性は？
A1: 本ターゲット材料は、炭化物と酸化物の複合設計により、薄膜の機械的特性と機能特性の相乗的最適化を実現します。
Q2: チタンカーバイド-二酸化チタンターゲットはどのスパッタリング法に適していますか？
A2: 装置条件やプロセス要件に応じて、DCマグネトロンスパッタリングまたはRFマグネトロンスパッタリングに一般的に使用可能です。
Q3: このターゲット材料で成膜した薄膜はどのような性能上の利点がありますか？
A3: 薄膜は一般的に優れた耐摩耗性、化学的安定性、調整可能な電気的または表面機能特性を示します。
Q4: 複合ターゲット材料は薄膜の構造安定性向上に寄与しますか？
A4: 複合システム設計は薄膜の全体的な構造安定性と信頼性向上に貢献します。
各バッチには以下が付属：
サイズ検査報告書
第三者試験報告書（要請求）
当社は複合スパッタリングターゲット及び先端無機材料を専門とし、ターゲット密度・組成均一性・プロセス適応性を重視。TiC–TiO₂複合薄膜成膜向けに安定かつ信頼性の高い材料ソリューションを提供します。
分子式TiC-TiO₂
外観灰黒色～暗灰色のターゲット材
内包装：汚染や湿気を防ぐため、真空パック袋に入れ、箱詰めします。
外包装：サイズと重量に基づき、カートンまたは木箱を選択します。
