、優れた化学的・熱的安定性を有する汎用無機酸化物材料であり、薄膜成膜プロセスや関連機能性材料用途に広く用いられます。粒子形態により粉末に比べて供給制御性に優れ、蒸着コーティング、熱蒸着、スパッタリングターゲット原料に適しています。
各種仕様の二酸化チタングラニュールを提供し、お客様の装置やプロセス要件に基づくカスタマイズをサポートします。具体的な蒸着装置やプロセスパラメータについてはお問い合わせ
ください。
優れた化学的・熱的安定性
より安定した供給を実現する粒子形態
蒸着コーティング及び関連成膜プロセスに適応
プロセスの再現性を向上
研究用途から産業用途まで
コーティング・熱蒸着プロセス:
光学用または機能性二酸化チタン薄膜の作製における蒸着源材料として適応。
光学・機能性コーティング:
高い膜安定性が求められる用途において、光学コーティングや表面機能層に広く使用されます。
薄膜材料研究:
様々な成膜条件下での薄膜性能の比較・研究を目的とした科学研究実験で広く活用されています。
質問Q1: 薄膜成膜に粉末ではなく二酸化チタン顆粒を選ぶ理由は?
A1: 顆粒形態により供給速度の制御が容易で、粉末飛散を低減し、成膜プロセスの安定性と再現性向上に寄与します。
Q2: TiO₂顆粒はどの装置に適していますか?
A2: 熱蒸着、電子線蒸着、その他の一般的な薄膜成膜装置に適しています。
Q3: 二酸化チタングラニュールの保管上の注意点は?
A3: グラニュールの物理的安定性を維持するため、密閉された乾燥環境で保管し、湿気や汚染を避けることを推奨します。
Q4: 二酸化チタングラニュールの仕様はカスタマイズ可能ですか?
A4: お客様の装置やプロセス条件に合わせて、特定の用途要件に応じた異なるグラニュール仕様やカスタマイズソリューションを提供可能です。
各バッチには以下を添付:
粒度検査報告書
第三者試験報告書
ご要望に応じて提供
薄膜堆積用無機材料の供給を専門とし、安定した品質管理システムを有しています。研究機関および産業顧客に対し、信頼性の高い二酸化チタン粒子製品を提供します。
分子式TiO₂
分子量: 79.87 g/mol
外観白色または黒色粉末
密度約4.23 g/cm³
融点約1843 °C
結晶構造正方晶(ルチル型)
包装:真空シールされた袋と、汚染や湿気を防ぐための箱詰め。
外箱梱包:サイズと重量に応じて選択されたカートンまたは木枠。