亜酸化チタン

チタン亜酸化物スパッタリングターゲット概要

チタン亜酸化物
スパッタリングターゲットは、高純度で酸素含有量を制御した酸化チタン（TiOx）セラミックスパッタリングターゲットであり、特定の光電子特性および機能特性を持つ非化学量論的酸化チタン薄膜の成膜を目的として設計されています。 光触媒、スマートウィンドウ、太陽電池、生体医用コーティングなどの分野で広く使用され、多機能表面改質を実現する基幹材料として機能します。

お客様の特定の薄膜性能要件に基づき、ターゲット材料の酸素空孔濃度と結晶相を精密に制御し、研究開発および生産向けにカスタマイズされたTiOxスパッタリングターゲットを提供します。協業の機会について誠意をもってご相談をお待ちしております。

製品の特徴

精密かつ制御可能な酸素含有量
高純度と優れた密度
安定した一貫性のあるスパッタリング性能
優れた光触媒活性とエレクトロクロミック特性
複数の結晶相オプション（例：アナターゼ型、ルチル型）

チタン亜酸化物スパッタリングターゲットの応用例

光触媒・環境浄化：
自己洗浄ガラスや空気清浄装置表面にコーティングされる高効率光触媒膜の製造に使用され、有機汚染物質を効果的に分解すると同時に抗菌機能を提供します。
エレクトロクロミックスマートウィンドウ：
主要層材料として、スパッタ成膜されたTiOx膜は印加電圧下で可逆的に色調と透過率を変化させ、動的な遮光と省エネ型光制御を実現。
太陽電池・光電変換デバイス：
色素増感太陽電池の電極材料、またはペロブスカイト太陽電池の電子輸送層として機能し、光電変換効率とデバイス安定性を向上。
生体適合性コーティング：
医療用インプラント（人工関節、歯科インプラント等）へのTiOx薄膜堆積により、生体適合性、耐食性、骨結合性が大幅に向上。

よくある質問

Q1: TiOxターゲット材料における「x」は何を表しますか？薄膜特性にどう影響しますか？
A1: 「x」は酸素とチタンの非化学量論的比率（通常1.5～2.0）を示します。この「x」値の精密な制御が膜中の酸素空孔濃度を直接決定し、導電率、光吸収特性、触媒活性、エレクトロクロミック応答速度に大きく影響します。

Q2: ルチル相とアナターゼ相のTiOxターゲットはどのように選択すべきですか？
A2: アナターゼ相は一般的に光触媒活性が高く、自己洗浄・浄化コーティングに適しています。ルチル相は構造安定性と屈折率に優れ、光学保護膜や耐摩耗コーティングに好まれます。用途に応じて適切な相をご提案します。

Q3: このターゲット材料はスパッタリング中にどの程度安定していますか？
A3: 当社の高度な焼結プロセスにより、極めて均一な微細構造が確保され、長時間のDCマグネトロンスパッタリングやRFスパッタリング中も安定した成膜速度と一貫した膜組成を維持し、異常放電を防止します。

Q4: 小ロットの研究開発向けカスタマイズは対応可能ですか？
A4: 研究開発の革新を強力に支援します。小サイズでの少量カスタムターゲット提供に加え、特定の酸素含有量や結晶相を指定可能。詳細なプロセスパラメータの推奨により開発を加速します。

報告書

各バッチに付属：
分析証明書（COA）
技術データシート（TDS）
物質安全データシート（MSDS）
サイズ検査報告書
第三者機関による試験報告書はご要望に応じて提供可能

当社を選ぶ理由当社は

機能性酸化物セラミックターゲットを専門とし、TiOx材料における酸素化学量論が最終薄膜性能を決定的に左右することを深く理解しています。精密なドーピングと焼結技術により、汎用ソリューションではなく、独自の特性を備えたカスタム設計のTiOxターゲットを提供します。