モリブデン・タンタル合金

モリブデンタンタル合金スパッタリングターゲット概要

モリブデンタンタル合金スパッタリングターゲットは
、モリブデンとタンタルを高温冶金処理により形成した耐食性・高融点機能材料です。優れた機械的強度、熱安定性、化学的不活性性を有します。 成膜された薄膜は、半導体プロセス、マイクロエレクトロニクス配線、拡散防止コーティング、高温薄膜部品において卓越した性能を発揮し、先進的なチップ製造やハイエンドコーティング産業において重要な材料となっています。

当社はお客様のニーズに応じ、様々なタンタル含有比率、純度グレード、サイズのMoTaスパッタリングターゲットを提供可能です。円形ターゲット、矩形ターゲット、セグメントターゲット、複合バックプレーンターゲットなど多様な形状に対応。詳細な価格情報については、いつでもお問い合わせ
ください。

製品

の特徴高融点、優れた耐熱衝撃性
安定した薄膜密着性能
要求に応じた精密なタンタル含有量調整が可能
高密度材料で粒子放出が少ない
優れた拡散防止性と耐食性
各種マグネトロンスパッタリングシステムに対応

モリブデンタンタル合金スパッタリングターゲットの用途

半導体
配線構造におけるバリア層成膜に使用。
高温構造薄膜や耐食性保護層の用途を含む。
マイクロエレクトロニクス加工における導電性・機能性薄膜材料として使用。
産業用コーティング装置における高性能薄膜作製に使用される。

よくある質問

Q1: MoTaスパッタリングターゲットの包装方法は？
A1: 各ターゲットは耐衝撃性素材で真空密封され、外装は耐圧性ハードケースに包装。輸送中の清浄性・安全性・無損傷を保証。

Q2: スパッタリングターゲットのカスタマイズは可能ですか？例えばサイズ、ボンディング、表面処理などについて。
A2: はい、お客様の装置やプロセス要件に合わせて、精密加工、バックプレーンボンディング、表面研磨、カスタム形状など、幅広い加工サービスを提供しています。

Q3: MoTa合金スパッタリングターゲットの保管方法は？
A3: 乾燥した密閉環境での保管を推奨します。湿気や汚染物質への直接暴露を避け、材料性能の安定性と寿命延長を図ってください。

Q4: 製品の純度と材質品質をどのように保証しますか？
A4: 当社は高純度原料、厳格な焼結工程、全数検査による品質管理プロセスでスパッタリングターゲットを製造しています。各ロットの均一性を保証するため、純度分析、組織試験、ロット追跡レポートを提供可能です。各ロットには

以下の書類

を添付：
分析証明書（COA）
技術データシート（TDS）
安全データシート（MSDS）
第三者試験報告書はご要望に応じて提供いたします。

当社を選ぶ理由

当社はモリブデン系、タンタル系、難溶性金属スパッタリングターゲットの研究開発・製造を専門としています。先進的な粉末冶金技術と精密加工能力を有し、高密度・高純度・低欠陥のMoTa合金スパッタリングターゲットを安定供給します。

当社の製品は長年にわたり、世界中の半導体
、光電子
、精密コーティング、研究機関に採用され、信頼性の高い品質、柔軟なカスタマイズ能力、迅速な納期、専門的な技術サポートで広く認められています。当社を選ぶことは、安定したサプライチェーン、高性能材料、信頼できる技術パートナーを選ぶことを意味します。