ニオブ・モリブデン・タンタル合金

ニオブモリブデンタンタル合金スパッタリングターゲット概要

ニオブモリブデンタンタル合金
スパッ
タリング
ターゲット
は
、三種の高融点金属で構成され、優れた耐食性、安定した機械的強度、良好な薄膜形成特性を有します。高性能薄膜工学において一般的に使用される複合ターゲットの一つです。 主に高耐熱性薄膜、電気機能性薄膜、先進コーティング技術におけるスパッタリング成膜に使用されます。

当社は様々なNbMoTa合金比率（3元素比率はご要望に応じてカスタマイズ可能）、高密度焼結ターゲット、DC・RF・マグネトロンスパッタリング装置に対応したHIP緻密化製品を提供しています。 ターゲットは円形、矩形、回転式、段付きターゲットに加工可能で、バックプレーンボンディング
サービスも対応しています。技術情報についてはお問い合わせください
。

製品の特徴

高融点三元合金系
優れた耐熱性と耐食性
合金比率の調整が可能
高密度、低不純物含有量
優れた膜均一性
複雑構造のカスタマイズに対応
各種スパッタリングプロセスに適用可能

ニオブ・モリブデン・タンタル合金スパッタリングターゲットの用途

機能性薄膜成膜：高安定性導電膜やバリア層の形成に使用。

高温コーティング：極限温度環境における保護コーティングに適する。

光学
工学用薄膜：高強度・高安定性が要求される光学薄膜成膜に使用。

科学研究・先端製造：材料研究や新規薄膜プロセスの開発に広く活用。

よくある質問

Q1: NbMoTaターゲットの包装は安全ですか？

A1: 全てのターゲットは3段階包装システム（静電気防止袋・緩衝フォーム・密封外箱）で梱包され、輸送中の損傷防止と湿気侵入を遮断します。

Q2: このターゲットはどのような加工方法に対応していますか？A2: 精密機械加工、HIP高密度化、粉末冶金焼結、CNC彫刻、バックプレーンボンディングプロセスを提供しています。

Q3: スパッタリングターゲットはどのように保管すべきですか？

A3: ターゲット表面の清浄度と構造安定性を維持するため、乾燥した密閉環境での保管を推奨します。酸性ガスや湿気への曝露を避けてください。

Q4: 三元合金ターゲットの純度範囲は？

A4: ご要望に応じて99.9%純度のターゲットを提供可能です。全原材料は厳格な試験を経ており、安定した信頼性の高い成膜プロセスを保証します。

報告書

各ロットに付属：
分析証明書（COA）
技術データシート（TDS）
化学物質安全データシート（MSDS）
第三者試験報告書はご要望に応じて提供可能です。

当社を選ぶ理由

希少金属・合金スパッタリングにおける豊富な経験に基づき、以下を提供します：

製品安定性を保証する包括的な品質管理システム

カスタマイズ可能な
三元・四元複合合金スパッタリング材料
迅速な納期サイクルと柔軟なカスタマイズ対応
プロセス最適化アドバイスを提供する独立技術チーム
グローバル顧客に対応する専門的な輸出能力
高いリピート率と長期的な業界協力における豊富な実績