ジルコニウム・アルミニウム合金

ジルコニウムアルミニウム合金ロータリーターゲット概要

ジルコニウムアルミニウム合金ロータリー
ターゲットは、均一な成膜、高い成膜速度、優れた膜密着性を必要とする先進スパッタリングシステム向けに設計されています。安定した合金組成と微細な微細構造により、ジルコニウムアルミニウム合金スピニングターゲットは、大面積コーティングや大量生産環境において一貫した性能を発揮します。

当社のジルコニウムアルミニウム合金ロータリーターゲットは、高純度原料の溶解、熱間等方性プレス（HIP）、または粉末冶金プロセスを用いて製造され、低酸素含有量、緻密な構造、長寿命を保証します。各種PVD装置プラットフォームに対応するため、カスタムサイズ、合金比率、ボンディング
方法を提供します。

製品の特長

カスタマイズ可能な製品サイズと比率
高密度・低気孔率のプレミアム製品
優れた耐クラック性
カスタマイズ可能な接合方法と裏打ち材
高度な技術サポート

ジルコニウムアルミニウム合金ロータリーターゲットの用途

光学
コーティング：ハードコーティング、反射層、耐食性光学構造に適しています。
半導体
薄膜：誘電体層、バリア層、機能性複合膜に使用されます。
ディスプレイ・太陽
エネルギー産業：ガラス、フレキシブル基板、太陽光発電デバイスへの大面積均一コーティングに適しています。
保護・機能性コーティング：工具、部品、表面処理向けの高硬度・耐酸化性フィルム。

よくある質問

Q1: どのようなバッキングチューブが利用可能ですか？
A1: ステンレス鋼、チタン合金、合金バッキングチューブをご用意しています。高出力スパッタリングに対応する高信頼性ボンディングサービスも提供しています。

Q2: ZrAl回転ターゲットは大面積コーティングに対応しますか？
A2: はい。建築用ガラス、ディスプレイパネル、太陽光発電用途において、優れた膜均一性を確保する回転ターゲット設計を採用しています。

Q3: 推奨保管条件は？
A3: 乾燥した換気の良い環境で、元の包装のまま保管してください。湿気や腐食性ガスとの接触を避けてください。

Q4: 合金比率や密度を指定できますか？
A4: はい、用途要件に基づき、合金組成・密度・機械的特性を完全にカスタマイズして提供可能です。

報告書

各バッチには以下を添付：
分析証明書（COA）
技術データシート（TDS）
安全データシート（MSDS）
第三者試験報告書はご要望に応じて提供可能です。

当社のZrAl回転ターゲットを選ぶ理由

精密な合金制御：安定した組成が予測可能なスパッタリング性能を保証。
高度な製造プロセス：熱間等静圧法（HIP）と粉末冶金プロセスにより、高密度と極めて低い欠陥率を実現。
エンジニアリングカスタマイズ：バッキングチューブ、インターフェース設計、合金比率をカスタマイズ可能。
信頼性の高い品質システム：各ターゲットに分析証明書（COA）、密度報告書、微細構造分析、不純物含有量報告書を添付。
専門的なサポート：プロセス最適化アドバイスと薄膜性能ガイダンスを提供。
安定したグローバル供給：迅速な納品と柔軟な生産能力で試作から量産まで対応。