亜鉛錫合金

亜鉛スズ合金ロータリーターゲット概要

亜鉛スズ合金

ロータリーターゲットは、

亜鉛（Zn）とスズ（Sn）を特定の比率で合金化した管状金属合金ターゲットです。平面ターゲットと比較し、より広い有効スパッタリング面積と高い材料利用率を提供します。 マグネトロンスパッタリングコーティング装置向けに特別設計され、高速回転により均一で安定した成膜を実現します。透明導電性酸化物（TCO）前駆体膜、機能性合金コーティング、特定めっき層の効率的な作製に最適な選択肢です。

当社では、長さ・直径・Zn/Sn原子比をカスタマイズした亜鉛スズ合金ロータリーターゲットを提供しています。特注品についてはお問い合わせください
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製品特長

・合金組成比率のカスタマイズ対応
・高純度金属合金
・高い材料利用率と成膜効率
・優れた膜均一性
・標準チューブシャフト統合対応

亜鉛スズ合金回転ターゲットの用途

大面積透明導電膜：大型タッチスクリーンやスマートウィンドウ向け亜鉛スズ酸化物透明導電層の大面積連続コーティングを効率的に実現。
高効率省エネコーティングライン：コーティングガラス・機能性ガラス生産ラインで使用され、均一で安定した合金または酸化物コーティングを提供し、ライン効率を向上させます。
合金保護・装飾コーティング：金属またはプラスチック基板上に耐食性亜鉛スズ合金装飾・保護コーティングを効率的に堆積します。
先進PV＆ディスプレイ：銅-亜鉛-スズ-硫黄-セレン薄膜太陽電池のバッファ層や次世代ディスプレイパネル用機能性フィルムの製造に使用。

FAQ

Q1：回転ターゲットと平面ターゲットの主な違いは？
A1：形状、効率、寿命が異なります。回転ターゲットは筒状で、材料利用率が高く、寿命が長く、大面積・高速連続コーティングに適しています。 平面ターゲットは板状で構造が簡素です。

Q2: 適切なサイズと比率の選定方法は？
A2: 装置とプロセスに依存します。サイズはコーティング装置のロータリーターゲットガンに適合させる必要があります。Zn/Sn比率は、ターゲット膜の性能要件（導電率、光透過率など）に基づき実験的に最適化が必要です。

Q3: 特別な設置や使用上の要件はありますか？
A3: 設置時はスパッタガンとの同軸配置と冷却水の確実なシールを確保する必要があります。運転時には安定した回転と十分な冷却が求められ、これにより最適な成膜結果とターゲット寿命が達成されます。

Q4: ロータリーターゲットの利点は何ですか？
A4: 主な利点は高い材料利用率と優れた膜均一性であり、高い膜均一性が要求される大面積の工業生産に特に適しています。

報告書

各バッチには以下が付属：
分析証明書（COA）
技術データシート（TDS）
安全データシート（MSDS）
第三者試験報告書（要請求

）当社を選ぶ理由

高品質なカスタム合金ロータリーターゲットの提供に加え、豊富な経験を活かした包括的な技術サポート（ターゲット選定・設置からプロセス最適化まで）を提供します

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