ニッケル鉄合金

ニッケル鉄合金ロータリーターゲット概要

ニッケル鉄合金
ロータリーターゲットは、主に連続薄膜成膜プロセスで使用され、大面積磁性機能薄膜および工業生産用途に適しています。

当社は、主流の装置と互換性のある、異なる組成比、長さ、インターフェースタイプのNiFeロータリーターゲットを提供しています。技術サポート
についてはお問い合わせください。

製品の特徴

連続スパッタリングプロセスに適している
ターゲット利用率が高い
均一な合金組成分布
優れた膜厚均一性
安定した熱管理性能
カスタムボンディング
・バックプレート対応

ニッケル鉄合金ロータリーターゲットの応用例

大面積磁性薄膜製造：長期安定運転を要する磁性薄膜成膜プロセスに適し、生産ライン効率と膜均一性の向上に貢献
工業用コーティング生産：連続生産ラインでの安定出力を実現し、工程切り替え頻度を低減。機能性コーティングの量産に適する
電子・ディスプレイ関連材料：電子デバイスやディスプレイ関連プロセスにおける機能層成膜に利用可能。高い膜均一性が求められるシナリオに対応。
プロセススケールアップとパラメータ検証：実験室からパイロット、量産段階へのプロセススケールアップ試験に適し、長期成膜安定性の検証に使用されます。

よくある質問

Q1: 平面ターゲットと比較したNiFe回転スパッタターゲットの利点は？
A1: 回転構造によりターゲット利用率が向上し、より安定した連続成膜プロセスを実現します。

Q2: 他社製回転スパッタ装置との互換性はありますか？
A2: はい、装置インターフェースとサイズ要件に基づき適合ソリューションを提供可能です。

Q3: 長期運転中にターゲットのバランス不良は発生しやすいか？
A3: 適切な設置とプロセス条件下では、ターゲット構造は安定しており長期運転要件を満たせます。

Q4: 小ロット生産やパイロット生産のニーズに対応可能か？
A4: はい、プロセス検証段階に適したカスタマイズ仕様を提供可能です。

報告書

各ロットに付属：

分析証明書（COA）

技術データシート（TDS）

安全データシート（MSDS）

サイズ検査報告書
第三者試験報告書

（

ご要望に応じて提供

）
当社を選ぶ理由

回転式スパッタリングターゲットの加工・組立において豊富な実績を有し、材料均一性・構造安定性・装置互換性に注力。連続蒸着や量産アプリケーションに信頼性の高いサポートを提供します。