| Product ID | Formula | Purity | Dimension | Inquiry |
|---|---|---|---|---|
| 56230800ST001 | BaVO3 | 99.9% | Ø 25.4 mm x 3.175 mm | Inquire |
| 56230800ST002 | BaVO3 | 99.9% | Ø 50.8 mm x 3.175 mm | Inquire |
| 56230800ST003 | BaVO3 | 99.9% | Ø 76.2 mm x 3.175 mm | Inquire |
| 56230800ST004 | BaVO3 | 99.9% | Ø 101.6 mm x 3.175 mm | Inquire |
| 56230800ST005 | BaVO3 | 99.9% | Ø 203.2 mm x 6.35 mm | Inquire |
| 56230800ST006 | BaVO3 | 99.99% | Ø 50.8 mm x 3.175 mm | Inquire |
| 56230800ST007 | BaVO3 | 99.99% | Ø 76.2 mm x 3.175 mm | Inquire |
酸化バリウムバナジウムスパッタリングターゲットは、薄膜成膜プロセス用に特別に設計されています。高純度で優れた密度を持ち、均一な成膜と安定した膜質を実現します。最高99.99%の純度と極めて低い不純物レベルにより、機能性セラミック薄膜や電子デバイスの製造に優れています。
弊社では、円形や長方形など様々な形状やサイズの酸化バリウムバナジウムスパッタリングターゲットを提供しており、お客様のニーズに合わせてカスタマイズすることが可能です。また、総合的なアフターサービスも提供しております。 お問い合わせ お気軽にお問い合わせください。
純度:99.9%~99.99
高密度で均一な薄膜成長を実現
カスタマイズ可能なサイズと形状
ターゲットボンディング サービス可能
優れた化学的安定性と機械的特性
機能性セラミック薄膜センサー、強誘電体デバイスなどの高性能ペロブスカイト酸化物薄膜の製造に使用されます。
電子デバイス:半導体および電極触媒用途で優れた性能を発揮し、高性能薄膜トランジスタや電極の製造に適している。
多機能オプトエレクトロニクス材料:デバイスの効率と安定性を向上させるため、太陽光発電や光学薄膜に使用される。
BaVO₃スパッタリングターゲットの各バッチには以下が付属しています。 分析証明書(COA)製品安全データシート(MSDS)、および関連する品質レポートが付属しています。また、製品の品質がお客様の基準を満たしていることを確認するため、第三者試験サービスも提供しています。
分子式BaVO₃
分子量:183.92 g/mol
外観濃緑色、緻密なセラミックターゲット、表面は滑らか
密度約5.8 g/cm³(理論密度に近い)
融点約1,300°C
結晶構造ペロブスカイト型(斜方晶または立方晶、調製条件による)
包装:真空シールされた袋で、汚染や湿気を防ぐために箱詰めされている。
外箱梱包:サイズと重量に応じて選択されたカートンまたは木枠。