アルミニウム クロム タンタル チタン ジルコニウム合金スパッタリングターゲットは、高度な薄膜蒸着プロセス用に設計された高性能材料です。アルミニウム(Al)、クロム(Cr)、タンタル(Ta)、チタン(Ti)、ジルコニウム(Zr)を組み合わせたこのターゲットは、機械的強度、耐摩耗性、耐食性、熱安定性のユニークなバランスを提供します。
私たちは、特定のニーズを満たすためにカスタマイズ可能な組成とサイズを提供しています。 お問い合わせお気軽にお問い合わせください。
優れた耐摩耗性と耐久性
高い熱安定性と耐酸化性
優れた機械的強度と硬度
過酷な環境における高性能薄膜に最適
様々な用途に合わせてサイズや形状をカスタマイズ可能
半導体半導体デバイスの製造、特に耐久性のある相互接続、拡散バリア、保護コーティングに使用されます。
ハードコーティング:高応力条件にさらされる工具、部品、機械の耐摩耗性、耐食性コーティングに最適。
航空宇宙航空宇宙産業で、極端な温度や機械的摩耗に対する耐性が求められる薄膜コーティングに使用される。
光学用コーティング高い反射率と耐久性が要求されるミラー、レンズ、その他の光学部品の光学コーティングに使用される。
エネルギー薄膜太陽電池やエネルギー貯蔵装置などのエネルギー分野に応用され、過酷な環境下でも長期間の性能を発揮する。
アルミニウム・クロム・タンタル・チタン・ジルコニウム合金スパッタリングターゲットの各バッチには、分析証明書(COA)、製品安全データシート(MSDS)、および製品の品質を確認するためのその他の必要書類が添付されています。さらなる品質保証のため、第三者試験サービスもご利用いただけます。
化学式AlCrTaTiZr
外観金属光沢のある灰色~銀色
融点: 660.3 °C (Al)、1,858 °C (Cr)、3,017 °C (Ta)、1,668 °C (Ti)、1,852 °C (Zr)
沸点: 2,470 °C (Al)、2,672 °C (Cr)、5,400 °C (Ta)、3,287 °C (Ti)、3,287 °C (Zr)
熱伝導率:235W/m・K(Al)、93W/m・K(Cr)、53W/m・K(Ta)、22W/m・K(Ti)、22W/m・K(Zr)
電気伝導率: 3.77 × 10⁶ S/m (Al), 6.7 × 10⁶ S/m (Cr), 7.5 × 10⁶ S/m (Ta), 2.38 × 10⁶ S/m (Ti), 2.2 × 10⁶ S/m (Zr)
硬度:耐摩耗性が高く、耐久性のあるコーティングに最適。
耐食性:特に高温、酸化条件下で優れている。
磁気特性:非磁性
危険物として分類されていない
包装:コンタミネーションや湿気から保護するため、真空パックされている。
外箱サイズと重量に応じて、カートンまたは木箱。
壊れやすい対象物:安全な輸送を確保するため、特別な保護梱包を使用します。