| Product ID | Formula | Purity | Dimension | Inquiry |
|---|---|---|---|---|
| 131400ST005 | AlSi | 99.9% | Ø 101mm x 6.4mm | Inquire |
| 131400ST004 | AlSi | 99.9% | Ø 101mm x 6.4mm | Inquire |
| 131400ST003 | AlSi | 99.9% | Ø 130mm x 20mm | Inquire |
| 131400ST002 | AlSi | 99.9% | Ø 130mm x 20mm | Inquire |
| 131400ST001 | AlSi | 99.9% | Ø 76.2 mm x 6.35mm | Inquire |
| 131400ST006 | AlSi | 99.9% | Ø 101.6mm x 3mm | Inquire |
アルミニウムシリコン合金スパッタリングターゲットは、優れた密着性、耐摩耗性、熱安定性を必要とする薄膜成膜プロセス用に設計された高純度合金ターゲットです。特定のニーズに合わせて組成やサイズをカスタマイズすることが可能で、包括的なアフターサービスも提供しています。
精密な溶解および鋳造技術に続き、ホットプレスまたはコールドプレスによって製造される当社のAlSiスパッタリングターゲットは、均一な組成、高密度、低不純物レベルを保証します。標準組成には、Al-10wt%Si、Al-12wt%Si、Al-15wt%Siがあり、お客様のニーズに合わせてカスタマイズも可能です。
純度：99.95%以上
標準およびカスタムAl/Si比（例：10%、12%、15）
高密度で均一な微細構造
優れた熱伝導性と電気伝導性
スパッタリングプロセスにおける優れた膜均一性と密着性
不純物およびガス含有量が少ない
円形、長方形を含む様々な形状およびサイズが入手可能
半導体製造マイクロエレクトロニクスデバイス用薄膜
オプトエレクトロニクス透明導電膜および保護膜
耐摩耗性コーティング工具や部品の硬く耐久性のある表面層
太陽電池光起電力デバイスの機能層の成膜
先端エレクトロニクスセンサーや回路用の高性能薄膜
分析証明書（COA）
製品安全データシート（MSDS）
ご要望に応じた第三者試験
化学式AlSi
外観銀灰色
融点約570-615 °C
熱伝導率約120-140W/m・K
電気伝導率約3.5～4.2×10⁷S/m
磁気特性非磁性
危険物として分類されていない
包装：コンタミネーションや湿気から保護するため、真空パックされている。
外箱サイズと重量に応じて、カートンまたは木箱。
壊れやすい対象物：安全な輸送を確保するため、特別な保護梱包を使用します。
