酸化アルミニウムイットリウムスパッタリングターゲットは、卓越した熱安定性、硬度、化学的不活性を必要とする薄膜蒸着用途向けに設計された高品質のセラミックターゲット材料です。の優れた機械的強度を組み合わせることで アルミナ(Al₂O₃)の優れた機械的強度と酸化イットリウム（Y₂O₃）の優れた熱的・構造的特性を組み合わせることで、このターゲットは光学、電子機器、保護層で使用される高度なコーティングの製造に最適です。
高度な焼結およびホットプレス技術により高純度原料から製造された当社のAl₂O₃-Y₂O₃スパッタリングターゲットは、優れた密度、均一な微細構造、安定したスパッタリング性能を提供します。また、包括的なアフターサービスも提供しています。 お問い合わせお問い合わせください。
高純度酸化アルミニウムイットリウムセラミック複合ターゲット (99.5%以上)
均一スパッタリングのための低空孔率で高密度
成膜中の化学的および熱的安定性に優れる
カスタムサイズおよび形状が可能
光学コーティング：レンズ、ディスプレイ、ミラーの反射防止および保護コーティング
電子デバイスマイクロエレクトロニクスの誘電体層や絶縁膜
保護膜: 切削工具や機械部品の硬質耐摩耗コーティング
薄膜センサーセンサーやMEMSデバイス用高安定性フィルム
分析証明書（COA）
製品安全データシート（MSDS）
密度および純度試験報告書
ご要望に応じて第三者による検証も可能
当社は、信頼性の高い酸化アルミニウムイットリウムスパッタリングターゲットサプライヤーとして、高度なコーティング用途向けに、優れた膜均一性と安定したスパッタリング性能を備えた高純度、高密度のターゲットを提供しています。当社の製品は、低不純物レベル、カスタマイズ可能な組成、正確な寸法を提供し、光学コーティング、半導体、ディスプレイ技術のニーズを満たします。厳格な品質管理とグローバルな納期厳守により、お客様の生産に安定した品質と信頼性の高い供給をお約束します。
化学式Al₂O₃-Y₂O₃
外観緻密で表面が滑らかな白色のセラミックターゲット
密度通常3.5-3.9 g/cm³（組成による）
融点： 2000 °C
結晶構造：コランダム(Al₂O₃)および立方蛍石(Y₂O₃)相
熱伝導率：中程度で、安定したスパッタリング条件に適している。
化学的安定性優れた耐酸化性と耐薬品性
危険物として分類されていない
包装：コンタミネーションや湿気から保護するため、真空パックされている。
外箱サイズと重量に応じて、カートンまたは木箱。
壊れやすい対象物：安全な輸送を確保するため、特別な保護梱包を使用します。
