酸化チタンランタン(LTO)スパッタリングターゲットは、薄膜形成プロセス用に設計された高性能材料です。極めて高い熱安定性と優れた物理的・化学的特性を有しています。エレクトロニクス、光学、高温環境での薄膜蒸着に広く使用されています。高密度と優れた安定性により、均一な薄膜成膜と優れた密着性を実現し、様々なハイエンド分野に適しています。
弊社は円形、長方形など様々なサイズと形状の酸化チタンランタンスパッタリングターゲットを提供し、お客様のニーズに応じてカスタマイズすることができます。同時に、ユーザーが使用中に心配がないように、総合的なアフターサービスを提供しています。
高純度LTO：99.99
均一な薄膜形成を保証する高密度
カスタマイズ可能なサイズと形状
ターゲット結合が可能
半導体半導体製造プロセスにおける誘電体層、導電層、相互接続層に広く使用される。La₄Ti₅O₁₂の高い安定性と適応性により、高温・高圧条件下で非常に優れた性能を発揮する。
光学コーティング：光学反射層、光学コーティング、光学機器として使用され、反射率と安定性が高い。
太陽電池：太陽電池の薄膜蒸着において、高い反射率と長期安定性を提供し、太陽電池の性能を向上させる。
高温環境：ターゲット材料は高温真空環境に耐えることができ、高温化学反応や触媒反応によく使用される。
弊社は、各バッチの商品について、分析証明書（COA）、製品安全データシート（MSDS）およびその他の関連レポートを提供します。また、品質保証を強化するため、第三者試験にも対応しています。
当社のランタンチタン酸化物スパッタリングターゲットは、優れた密度、均一な微細構造、信頼性の高い薄膜蒸着性能を備えています。信頼できるサプライヤーとして、厳格な品質管理、カスタマイズオプション、競争力のある価格設定、確実なグローバルデリバリーを保証し、研究用途と産業用途の両方をサポートします。
分子式La₄Ti₅O₁₂
分子量：1,223.42 g/mol
外観白色～灰色
密度約4.7 g/cm³
融点約1,600 °C
熱伝導率約3.5W/m・K
比熱容量約0.43 J/g-K
熱膨張係数約7.1×10-⁶/K
包装：コンタミネーションや湿気から保護するため、真空パックされている。
外箱サイズと重量に応じて、カートンまたは木箱。
壊れやすい対象物：安全な輸送を確保するため、特別な保護梱包を使用します。
