{"id":56107,"date":"2026-06-03T14:55:03","date_gmt":"2026-06-03T06:55:03","guid":{"rendered":"https:\/\/ulpmat.com\/perche-il-nitruro-di-boro-esagonale-viene-utilizzato-nelle-apparecchiature-a-semiconduttore\/"},"modified":"2026-06-03T15:08:24","modified_gmt":"2026-06-03T07:08:24","slug":"perche-il-nitruro-di-boro-esagonale-viene-utilizzato-nelle-apparecchiature-a-semiconduttore","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/ulpmat.com\/it\/perche-il-nitruro-di-boro-esagonale-viene-utilizzato-nelle-apparecchiature-a-semiconduttore\/","title":{"rendered":"Perch\u00e9 il nitruro di boro esagonale viene utilizzato nelle apparecchiature a semiconduttore"},"content":{"rendered":"\t\t<div data-elementor-type=\"wp-post\" data-elementor-id=\"56107\" class=\"elementor elementor-56107 elementor-56022\" data-elementor-post-type=\"post\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-e4dc682 e-flex e-con-boxed e-con e-parent\" data-id=\"e4dc682\" data-element_type=\"container\" data-e-type=\"container\">\n\t\t\t\t\t<div class=\"e-con-inner\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-83a70ab elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"83a70ab\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Che cos'\u00e8 il nitruro di boro? Come viene classificato?<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-9bc7184 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"9bc7184\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p><span style=\"color: #0000ff;\"><a style=\"color: #0000ff;\" href=\"https:\/\/ulpmat.com\/it\/ricerca\/?type=name&#038;keyword=Boron+nitride\">Nitruro di boro<\/a><\/span> (BN) \u00e8 un materiale ceramico <span style=\"color: #0000ff;\"><a style=\"color: #0000ff;\" href=\"https:\/\/ulpmat.com\/it\/product-category\/materiali-per-deposizione-di-film-sottili\/target-di-sputtering-in-ceramica\/\">materiale ceramico<\/a><\/span> composto da atomi di boro e azoto disposti in una struttura cristallina a strati <span style=\"color: #0000ff;\"><a style=\"color: #0000ff;\" href=\"https:\/\/en.wikipedia.org\/wiki\/Crystal_structure\" target=\"_blank\" rel=\"noopener\">struttura cristallina<\/a><\/span>simile alla grafite. \u00c8 molto apprezzato nei <span style=\"color: #0000ff;\"><a style=\"color: #0000ff;\" href=\"https:\/\/ulpmat.com\/it\/applicazione\/materiali-per-semiconduttori\/\">semiconduttori<\/a> <\/span>per la sua combinazione di stabilit\u00e0 termica, isolamento elettrico e inerzia chimica. Il BN \u00e8 tipicamente disponibile in polvere per la lavorazione in ceramiche pressate a caldo, rivestimenti e componenti isolanti utilizzati nelle apparecchiature CVD, PVD, di incisione al plasma e di manipolazione dei wafer.<\/p><p>Il nitruro di boro \u00e8 classificato in tre strutture cristalline principali:<\/p><ul><li><strong>BN esagonale (h-BN)<\/strong>: La forma pi\u00f9 comune nelle applicazioni dei semiconduttori, che offre eccellenti propriet\u00e0 termiche ed elettriche e lavorabilit\u00e0.<\/li><li><strong>BN cubico (c-BN)<\/strong>: Estremamente duro, utilizzato in utensili da taglio e applicazioni abrasive, meno comune nelle apparecchiature per semiconduttori.<\/li><li><strong>BN wurtzite (w-BN)<\/strong>: Raro e altamente specializzato, utilizzato principalmente nella ricerca ad alta pressione e in applicazioni ingegneristiche estreme.<\/li><\/ul><p>All&#8217;interno di ciascun tipo, i materiali BN sono ulteriormente classificati in base alla purezza, alla dimensione delle particelle, alla densit\u00e0 e al metodo di lavorazione, che ne determinano l&#8217;idoneit\u00e0 per specifiche applicazioni a semiconduttori ad alta temperatura, resistenti al plasma o ultra-puliti.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-16196a3 elementor-widget elementor-widget-image\" data-id=\"16196a3\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"image.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<figure class=\"wp-caption\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<img fetchpriority=\"high\" decoding=\"async\" width=\"480\" height=\"201\" src=\"https:\/\/ulpmat.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/boron-nitride-powder-crystal-structure.png\" class=\"attachment-large size-large wp-image-56044\" alt=\"struttura cristallina della polvere di nitruro di boro -ulpmat\" srcset=\"https:\/\/ulpmat.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/boron-nitride-powder-crystal-structure.png 480w, https:\/\/ulpmat.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/boron-nitride-powder-crystal-structure-300x126.png 300w\" sizes=\"(max-width: 480px) 100vw, 480px\" \/>\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<figcaption class=\"widget-image-caption wp-caption-text\">BN Struttura cristallina<\/figcaption>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/figure>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-34e15f9 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"34e15f9\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Perch\u00e9 il nitruro di boro esagonale viene utilizzato nelle apparecchiature a semiconduttore?<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-815c91a elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"815c91a\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p><span style=\"color: #0000ff;\"><a style=\"color: #0000ff;\" href=\"https:\/\/ulpmat.com\/it\/prodotto\/nitruro-di-boro-2\/\">Nitruro di boro esagonale<\/a><\/span> nelle applicazioni dei semiconduttori \u00e8 ampiamente utilizzato perch\u00e9 combina un&#8217;eccellente stabilit\u00e0 termica, isolamento elettrico e resistenza all&#8217;attacco del plasma. I processi di produzione dei semiconduttori, come la CVD, la PVD e l&#8217;incisione al plasma, espongono i materiali a condizioni estreme, tra cui temperature da 800\u00b0C a 1800\u00b0C, plasma ad alta energia e ambienti ad altissimo vuoto.<\/p><p>i materiali ceramici h-BN mantengono l&#8217;integrit\u00e0 strutturale e la stabilit\u00e0 dielettrica in queste condizioni, rendendoli una delle ceramiche di isolamento termico pi\u00f9 affidabili nelle apparecchiature per semiconduttori avanzate.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-ddb438c elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"ddb438c\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Stabilit\u00e0 alle alte temperature dei materiali ceramici h-BN<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-64888f1 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"64888f1\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Il nitruro di boro esagonale (h-BN) presenta un&#8217;eccellente stabilit\u00e0 alle alte temperature. In ambienti inerti o sotto vuoto, la sua temperatura operativa pu\u00f2 raggiungere circa 1800\u00b0C. In atmosfere ossidanti, la sua temperatura operativa effettiva \u00e8 di circa 850-900\u00b0C, rendendo l&#8217;h-BN adatto ai sistemi di isolamento dei forni, ai supporti per wafer e ai componenti strutturali ad alta temperatura. Il suo coefficiente di espansione termica estremamente basso (circa 1-2 \u00d7 10-\u2076 \/K) riduce lo stress termico e migliora la stabilit\u00e0 operativa a lungo termine dei dispositivi a semiconduttore.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-30ef99b elementor-widget elementor-widget-image\" data-id=\"30ef99b\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"image.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<figure class=\"wp-caption\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<img decoding=\"async\" width=\"800\" height=\"624\" src=\"https:\/\/ulpmat.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/SEM-image-of-hexagonal-boron-nitride-powder.png\" class=\"attachment-large size-large wp-image-56045\" alt=\"Immagine al SEM di polvere di nitruro di boro esagonale con morfologia uniforme delle particelle\" srcset=\"https:\/\/ulpmat.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/SEM-image-of-hexagonal-boron-nitride-powder.png 935w, https:\/\/ulpmat.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/SEM-image-of-hexagonal-boron-nitride-powder-300x234.png 300w, https:\/\/ulpmat.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/SEM-image-of-hexagonal-boron-nitride-powder-768x599.png 768w, https:\/\/ulpmat.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/SEM-image-of-hexagonal-boron-nitride-powder-600x468.png 600w\" sizes=\"(max-width: 800px) 100vw, 800px\" \/>\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<figcaption class=\"widget-image-caption wp-caption-text\">SEM del nitruro di boro esagonale<\/figcaption>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/figure>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-3b5b01c elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"3b5b01c\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Propriet\u00e0 termiche ed elettriche del nitruro di boro esagonale<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-064eec9 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"064eec9\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Le prestazioni del nitruro di boro esagonale nelle applicazioni dei semiconduttori sono dovute principalmente alla sua combinazione unica di conducibilit\u00e0 termica e isolamento elettrico. Le propriet\u00e0 tipiche includono una conducibilit\u00e0 termica compresa tra 15 e 96 W\/m-K, una resistivit\u00e0 elettrica di 10\u00b9\u00b3-10\u00b9\u2075 \u03a9-cm e una rigidit\u00e0 dielettrica fino a 200 kV\/mm, a seconda della densit\u00e0 e della struttura.<br \/>Queste propriet\u00e0 consentono ai materiali ceramici h-BN di dissipare il calore in modo efficiente, mantenendo un eccellente isolamento elettrico negli ambienti di plasma RF.<\/p><table style=\"border-collapse: collapse; width: 100%; height: 96px;\"><tbody><tr style=\"height: 24px;\"><td style=\"width: 50%; border-style: solid; border-color: #081b96; height: 24px; text-align: center;\"><strong><b>Propriet\u00e0<\/b><\/strong><\/td><td style=\"width: 50%; border-style: solid; border-color: #081b96; height: 24px; text-align: center;\"><strong><b>Valore tipico<\/b><\/strong><\/td><\/tr><tr style=\"height: 24px;\"><td style=\"width: 50%; border-style: solid; border-color: #081b96; height: 24px; text-align: center;\">Conducibilit\u00e0 termica<\/td><td style=\"width: 50%; border-style: solid; border-color: #081b96; height: 24px; text-align: center;\">15-96 W\/m-K<\/td><\/tr><tr style=\"height: 24px;\"><td style=\"width: 50%; border-style: solid; border-color: #081b96; height: 24px; text-align: center;\">Resistivit\u00e0 elettrica<\/td><td style=\"width: 50%; border-style: solid; border-color: #081b96; height: 24px; text-align: center;\">10\u00b9\u00b3-10\u00b9\u2075 \u03a9-cm<\/td><\/tr><tr style=\"height: 24px;\"><td style=\"width: 50%; border-style: solid; border-color: #081b96; height: 24px; text-align: center;\">Rigidit\u00e0 dielettrica<\/td><td style=\"width: 50%; border-style: solid; border-color: #081b96; height: 24px; text-align: center;\">50-200 kV\/mm<\/td><\/tr><\/tbody><\/table>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-fb59253 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"fb59253\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Come la ceramica BN resiste al plasma nella produzione di semiconduttori<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-f9b577d elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"f9b577d\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>I processi al plasma nella produzione di semiconduttori generano specie altamente reattive come fluoro, cloro e radicali di ossigeno. Il nitruro di boro esagonale dimostra una forte resistenza all&#8217;attacco del plasma grazie alla stabilit\u00e0 del legame covalente e all&#8217;inerzia chimica.<br \/>Di conseguenza, i materiali ceramici h-BN sono ampiamente utilizzati nei componenti rivolti al plasma, come rivestimenti di camere, supporti isolanti e parti di schermatura. Rispetto a <span style=\"color: #0000ff;\"><a style=\"color: #0000ff;\" href=\"https:\/\/ulpmat.com\/it\/ricerca\/?type=name&#038;keyword=Al2O3\">allumina (Al2O3<\/a><\/span>) e <span style=\"color: #0000ff;\"><a style=\"color: #0000ff;\" href=\"https:\/\/ulpmat.com\/it\/ricerca\/?type=name&#038;keyword=SiO2\">silice (SiO2)<\/a><\/span>, i materiali BN mostrano una minore generazione di particelle e una durata della superficie significativamente migliore, che contribuisce a mantenere la resa dei wafer e la stabilit\u00e0 del processo.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-78e5272 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"78e5272\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Propriet\u00e0 di isolamento elettrico del nitruro di boro esagonale<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-8876d06 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"8876d06\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Nei semiconduttori a radiofrequenza <span style=\"color: #0000ff;\"><a style=\"color: #0000ff;\" href=\"https:\/\/ulpmat.com\/it\/applicazione\/materiali-per-semiconduttori\/\">semiconduttori<\/a> <\/span>la stabilit\u00e0 dielettrica \u00e8 essenziale per il controllo del plasma. Il nitruro di boro esagonale offre una costante dielettrica stabile (~4,0-4,4), un&#8217;elevata resistivit\u00e0 e una resistenza alla rottura costante. Queste propriet\u00e0 garantiscono una distribuzione stabile del plasma, una riduzione delle interferenze elettriche e una maggiore precisione nei sistemi di lavorazione dei semiconduttori.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-970fe57 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"970fe57\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Resistenza alla contaminazione e lavorabilit\u00e0 del nitruro di boro<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-92e44df elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"92e44df\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Per i nodi avanzati dei semiconduttori, il controllo della contaminazione \u00e8 fondamentale a livelli di ppm e ppb. Il nitruro di boro esagonale nelle applicazioni dei semiconduttori \u00e8 preferito perch\u00e9 non contiene ioni metallici mobili, mostra un degassamento estremamente basso sotto vuoto (&lt;10-\u2079 Torr) e rimane chimicamente inerte nella maggior parte dei gas di processo. La ceramica h-BN pressata a caldo e derivata dalla polvere pu\u00f2 essere lavorata in forme complesse utilizzando strumenti convenzionali, consentendo una progettazione flessibile di dispositivi per wafer, distanziatori e componenti di forni.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-fd4933a elementor-widget elementor-widget-image\" data-id=\"fd4933a\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"image.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<figure class=\"wp-caption\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<img decoding=\"async\" width=\"800\" height=\"711\" src=\"https:\/\/ulpmat.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/High-purity-hexagonal-boron-nitride-powder.jpg\" class=\"attachment-large size-large wp-image-56046\" alt=\"Polvere di nitruro di boro esagonale di elevata purezza per applicazioni nei semiconduttori\" srcset=\"https:\/\/ulpmat.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/High-purity-hexagonal-boron-nitride-powder.jpg 957w, https:\/\/ulpmat.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/High-purity-hexagonal-boron-nitride-powder-300x267.jpg 300w, https:\/\/ulpmat.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/High-purity-hexagonal-boron-nitride-powder-768x683.jpg 768w, https:\/\/ulpmat.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/High-purity-hexagonal-boron-nitride-powder-600x534.jpg 600w\" sizes=\"(max-width: 800px) 100vw, 800px\" \/>\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<figcaption class=\"widget-image-caption wp-caption-text\">Nitruro di boro esagonale in polvere<\/figcaption>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/figure>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-3174ba0 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"3174ba0\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Applicazioni dell'h-BN nelle apparecchiature a semiconduttore<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-4993387 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"4993387\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Il nitruro di boro esagonale \u00e8 ampiamente utilizzato nelle apparecchiature per la produzione di semiconduttori, a seconda dei requisiti di purezza, densit\u00e0 ed esposizione al plasma.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-202a3c8 eael-table-align-center eael-dt-th-align-left elementor-widget elementor-widget-eael-data-table\" data-id=\"202a3c8\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"eael-data-table.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t<div class=\"eael-data-table-wrap\" data-table_id=\"202a3c8\" id=\"eael-data-table-wrapper-202a3c8\" data-custom_responsive=\"false\">\n\t\t\t<table class=\"tablesorter eael-data-table center\" id=\"eael-data-table-202a3c8\">\n\t\t\t    <thead>\n\t\t\t        <tr class=\"table-header\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t            <th class=\"\" id=\"\" colspan=\"\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<span class=\"data-table-header-text\">Tipo di apparecchiatura<\/span><\/th>\n\t\t\t        \t\t\t\t            <th class=\"\" id=\"\" colspan=\"\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<span class=\"data-table-header-text\">Applicazione<\/span><\/th>\n\t\t\t        \t\t\t\t        <\/tr>\n\t\t\t    <\/thead>\n\t\t\t  \t<tbody>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<tr>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t   \t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<td colspan=\"\" rowspan=\"\" class=\"\" id=\"\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<div class=\"td-content-wrapper\"><div class=\"td-content\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tSistemi CVD\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div><\/div>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/td>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t   \t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<td colspan=\"\" rowspan=\"\" class=\"\" id=\"\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<div class=\"td-content-wrapper\"><div class=\"td-content\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tIsolamento termico e componenti della zona calda\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div><\/div>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/td>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/tr>\n\t\t\t        \t\t\t\t\t\t<tr>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t   \t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<td colspan=\"\" rowspan=\"\" class=\"\" id=\"\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<div class=\"td-content-wrapper\"><div class=\"td-content\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tSistemi PVD\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div><\/div>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/td>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t   \t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<td colspan=\"\" rowspan=\"\" class=\"\" id=\"\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<div class=\"td-content-wrapper\"><div class=\"td-content\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tSchermatura termica e supporti\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div><\/div>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/td>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/tr>\n\t\t\t        \t\t\t\t\t\t<tr>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t   \t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<td colspan=\"\" rowspan=\"\" class=\"\" id=\"\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<div class=\"td-content-wrapper\"><div class=\"td-content\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tIncisione al plasma\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div><\/div>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/td>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t   \t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<td colspan=\"\" rowspan=\"\" class=\"\" id=\"\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<div class=\"td-content-wrapper\"><div class=\"td-content\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tRivestimenti delle camere e anelli isolanti\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div><\/div>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/td>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/tr>\n\t\t\t        \t\t\t\t\t\t<tr>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t   \t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<td colspan=\"\" rowspan=\"\" class=\"\" id=\"\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<div class=\"td-content-wrapper\"><div class=\"td-content\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tForni termici\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div><\/div>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/td>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t   \t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<td colspan=\"\" rowspan=\"\" class=\"\" id=\"\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<div class=\"td-content-wrapper\"><div class=\"td-content\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tParti isolanti per alte temperature\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div><\/div>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/td>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/tr>\n\t\t\t        \t\t\t\t\t\t<tr>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t   \t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<td colspan=\"\" rowspan=\"\" class=\"\" id=\"\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<div class=\"td-content-wrapper\"><div class=\"td-content\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tComponenti ceramici di precisione\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div><\/div>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/td>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t   \t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<td colspan=\"\" rowspan=\"\" class=\"\" id=\"\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<div class=\"td-content-wrapper\"><div class=\"td-content\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tManipolazione dei wafer\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div><\/div>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/td>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/tr>\n\t\t\t        \t\t\t    <\/tbody>\n\t\t\t<\/table>\n\t\t<\/div>\n\t  \t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-abdea98 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"abdea98\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Importanza dell'h-BN per i nodi a semiconduttore avanzati<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-6962ef1 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"6962ef1\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Con la riduzione dei nodi dei semiconduttori a 5 nm e oltre, gli ambienti di processo diventano pi\u00f9 sensibili alla contaminazione, alla deriva termica e all&#8217;instabilit\u00e0 del plasma. Il nitruro di boro esagonale nelle applicazioni dei semiconduttori offre una stabilit\u00e0 termica a lungo termine, una forte resistenza al plasma, un comportamento dielettrico stabile e un rischio di contaminazione bassissimo.<br \/>Queste propriet\u00e0 rendono i materiali ceramici h-BN un materiale abilitante fondamentale per i sistemi di produzione di semiconduttori di prossima generazione.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-da48635 elementor-widget elementor-widget-heading\" data-id=\"da48635\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"heading.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t<h2 class=\"elementor-heading-title elementor-size-default\">Conclusione<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-element elementor-element-fc3f570 elementor-widget elementor-widget-text-editor\" data-id=\"fc3f570\" data-element_type=\"widget\" data-e-type=\"widget\" data-widget_type=\"text-editor.default\">\n\t\t\t\t<div class=\"elementor-widget-container\">\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<p>Il nitruro di boro esagonale \u00e8 uno dei materiali ceramici resistenti al plasma pi\u00f9 affidabili per le apparecchiature a semiconduttore. La sua combinazione di elevata stabilit\u00e0 termica (fino a ~1800\u00b0C), conduttivit\u00e0 termica (15-96 W\/m-K), elevata resistivit\u00e0 elettrica (10\u00b9\u00b3-10\u00b9\u2075 \u03a9-cm), inerzia chimica e lavorabilit\u00e0 lo rende essenziale per gli ambienti dei semiconduttori ad alta temperatura, ricchi di plasma e ultra-puliti.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Il nitruro di boro esagonale (h-BN) \u00e8 una ceramica ad alte prestazioni ampiamente utilizzata nelle apparecchiature per semiconduttori per la sua stabilit\u00e0 termica fino a 1800\u00b0C, l&#8217;eccellente isolamento elettrico, la resistenza al plasma e la lavorabilit\u00e0, che la rendono essenziale per le applicazioni di CVD, PVD, incisione al plasma e manipolazione dei wafer.<\/p>\n","protected":false},"author":4,"featured_media":56045,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_acf_changed":false,"footnotes":""},"categories":[1214],"tags":[],"class_list":["post-56107","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-blog"],"acf":[],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/ulpmat.com\/it\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/56107","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/ulpmat.com\/it\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/ulpmat.com\/it\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/ulpmat.com\/it\/wp-json\/wp\/v2\/users\/4"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/ulpmat.com\/it\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=56107"}],"version-history":[{"count":2,"href":"https:\/\/ulpmat.com\/it\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/56107\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":56109,"href":"https:\/\/ulpmat.com\/it\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/56107\/revisions\/56109"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/ulpmat.com\/it\/wp-json\/wp\/v2\/media\/56045"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/ulpmat.com\/it\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=56107"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/ulpmat.com\/it\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=56107"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/ulpmat.com\/it\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=56107"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}