Il vantaggio principale dell’esclusivo design cilindrico del bersaglio rotante è l’utilizzo uniforme della superficie del bersaglio attraverso la rotazione fisica. Questo design non solo ottimizza il consumo di materiale durante lo sputtering, ma assicura anche una distribuzione uniforme del materiale depositato grazie alla rotazione continua. Il meccanismo di rotazione del cilindro consente al fascio di sputtering di formare un percorso di erosione più uniforme sulla superficie del bersaglio, migliorando notevolmente l’utilizzo del bersaglio e garantendo un’elevata efficienza e coerenza nel processo di deposizione del film sottile.
Il nostro portafoglio di bersagli rotanti
Offriamo una gamma completa di bersagli rotanti per soddisfare una varietà di esigenze industriali.
| Obiettivi rotanti in metallo | Obiettivi rotanti in lega | Obiettivi rotanti in ceramica |
| Alluminio (Al) | Nichel-cromo (NiCr) | Ossido di niobio (Nb2O5) |
| Titanio (Ti) | Titanio tungsteno (WTi) | Carburo di silicio (SiC) |
| Rame (Cu) | Zinco-stagno (ZnSn) | Ossido di indio-stagno (ITO) |
| Molibdeno (Mo) | Nichel ferro (NiFe) | Ossido di zinco drogato con alluminio (AZO) |
| Tungsteno (W) | Alluminio silicio (SiAl) | Ossido di zinco drogato con gallio (GZO) |
| Silicio (Si) | Silicio alluminio zirconio (SiAlZr) | Ossido di indio e stagno (ITO) |
Inoltre, offriamo bersagli rotanti composti e speciali, materiali progettati per i settori dei semiconduttori, del fotovoltaico e dell’ottica.
Obiettivi rotanti vs obiettivi planari
Utilizzo del target: I target rotanti, grazie al loro esclusivo meccanismo di rotazione, possono aumentare significativamente l’utilizzo del target fino a oltre il 70%-80%. Gli obiettivi planari di solito raggiungono solo il 40%-50% di utilizzo del materiale.
Efficienza di deposizione del film: Gli obiettivi planari sono efficaci nella deposizione di piccole aree o forme specifiche di film per soddisfare requisiti specifici di prestazione. Gli obiettivi rotanti mostrano vantaggi significativi nella deposizione uniforme di film su grandi aree. Questo non solo migliora l’efficienza di deposizione, ma garantisce anche l’uniformità e la consistenza del film, che è fondamentale per migliorare la qualità del prodotto.
Efficacia dei costi: Il costo iniziale più basso dei target planari li rende ideali per applicazioni con budget limitati o dove l’uniformità del film non è fondamentale. I target rotanti, nonostante l’investimento iniziale e i costi di manutenzione più elevati, possono far risparmiare gli utenti sui costi dei materiali e migliorare la produttività a lungo termine grazie all’elevato utilizzo dei materiali e all’efficienza di deposizione.
Qual è l’applicazione del Rotary Target?
Grazie alla metallurgia avanzata, al rigoroso controllo di qualità e alla progettazione su misura, i nostri target rotanti ottimizzano l’efficienza del vostro processo di sputtering e la qualità dei vostri film, consentendovi di realizzare la prossima generazione di rivestimenti e applicazioni a film sottile.
