Lega di alluminio al silicio

Panoramica sul bersaglio rotante in lega di silicio-alluminio

Il bersaglio rotante
in lega di silicio-alluminio
è un bersaglio rotante in lega per processi di sputtering continui, che combina le proprietà delle leghe di silicio-alluminio con i vantaggi di una struttura a bersaglio rotante. Viene utilizzato principalmente nei pannelli di visualizzazione, negli strati metallici dei semiconduttori
, nei circuiti a film sottile e nella deposizione di rivestimenti funzionali su grandi superfici.

Siamo in grado di fornire bersagli rotanti in lega di silicio-alluminio di diverse dimensioni e tipi di interfaccia in base alla struttura catodica dell’apparecchiatura. Supportiamo l’integrazione dei processi e la comunicazione tecnica. Contattateci
direttamente per soluzioni personalizzate.

Caratteristiche principali del prodotto

Sputtering rotante, elevato utilizzo del bersaglio
Buona stabilità di sputtering della lega
Eccellente uniformità del film
Adatto per un funzionamento continuo a lungo termine
Facilita la dissipazione del calore e il raffreddamento
Struttura e dimensioni personalizzate supportate

Applicazioni del bersaglio rotante in lega di silicio-alluminio

Film metallici sottili per pannelli di visualizzazione:
adatti per la deposizione di strati metallici conduttivi o funzionali nei pannelli di visualizzazione, soddisfano i requisiti per la deposizione uniforme di film su grandi superfici.
Deposizione di strati metallici semiconduttori:
nella produzione di dispositivi semiconduttori, la struttura del bersaglio rotante contribuisce a migliorare la stabilità dello sputtering e l’uniformità del film.
Circuiti a film sottile e rivestimenti funzionali:
adatto alla preparazione di circuiti a film sottile e relativi rivestimenti funzionali, supporta un funzionamento stabile in condizioni di processo continuo.
Ricerca e ottimizzazione dei processi:
ampiamente utilizzato nella ricerca sui parametri di processo e nello sviluppo di nuovi film sottili in lega nei sistemi di sputtering a rotazione.

Domande frequenti

D1: Quali sono i vantaggi di un bersaglio rotante in lega di silicio e alluminio rispetto a un bersaglio in lega planare?
A1: Un bersaglio rotante, attraverso la partecipazione continua alla polverizzazione, può migliorare l’utilizzo del bersaglio e aumentare l’uniformità dei film sottili su grandi aree.

D2: Quali sono i requisiti per il sistema di raffreddamento quando si utilizza un bersaglio rotante in lega di silicio e alluminio?
A2: I bersagli rotanti sono tipicamente utilizzati in combinazione con strutture di raffreddamento interne per aiutare a mantenere la stabilità del processo di polverizzazione.

Q3: Quali metodi di sputtering sono adatti per i bersagli rotanti in lega di silicio e alluminio?
A3: Possono essere utilizzati nei comuni processi di sputtering con bersagli metallici, come lo sputtering DC, a seconda della configurazione dell’apparecchiatura.

Q4: Come mantenere stabile la composizione del film durante lo sputtering?
A4: Un controllo adeguato dei parametri di potenza, atmosfera e rotazione aiuta a ottenere prestazioni del film stabili e costanti.

Rapporto

Ogni lotto viene fornito con:
Certificato di analisi (COA)

Scheda tecnica (TDS)

Scheda di sicurezza (MSDS)
Rapporto di ispezione delle dimensioni
Rapporti di test di terze parti disponibili su richiesta

Perché scegliere noi?

Siamo specializzati nella fornitura di bersagli di sputtering in lega orientati all’applicazione, ponendo l’accento sul design strutturale dei bersagli e sulla compatibilità delle apparecchiature. Siamo in grado di fornire ai clienti soluzioni di prodotto stabili e affidabili e un supporto tecnico efficiente.