Il bersaglio rotante
in carburo di silicio
è un bersaglio rotante in ceramica per la deposizione continua di film sottili, adatto a processi che richiedono elevata stabilità e funzionamento a lungo termine. Viene utilizzato principalmente in rivestimenti di grandi superfici, film sottili funzionali e sistemi industriali di sputtering continuo.
Siamo in grado di fornire bersagli rotanti in carburo di silicio compatibili con il processo e supportare
l’integrazione tecnica
della progettazione strutturale e delle condizioni di deposizione.
Adatto per processi di sputtering continuo
Composizione stabile del film
Elevato utilizzo del bersaglio
Adatto per depositi su grandi superfici
Buona stabilità operativa
Rivestimenti funzionali su grandi superfici:
il bersaglio rotante in carburo di silicio è adatto per la preparazione continua di rivestimenti funzionali su substrati di vetro, metallo o polimeri.
Sistemi industriali di sputtering continuo:
nelle apparecchiature di sputtering roll-to-roll o in linea, la struttura del bersaglio rotante contribuisce a migliorare la stabilità della produzione.
Pellicole resistenti all’abrasione e protettive:
utilizzate per preparare pellicole protettive ad alta durezza che soddisfano i requisiti di ambienti di servizio a lungo termine.
Ricerca e convalida dei processi:
supporta lo sviluppo di nuovi parametri di processo e la valutazione delle prestazioni delle pellicole.
D1: Quali sono i vantaggi di un bersaglio rotante in carburo di silicio rispetto a un bersaglio planare?
R1: I bersagli rotanti consentono un maggiore utilizzo del bersaglio e migliorano la stabilità del processo di sputtering.
D2: I bersagli rotanti in SiC sono adatti per un funzionamento a lungo termine?
R2: Sì, la struttura rotante aiuta a dissipare il calore e supporta il funzionamento continuo.
D3: In quali sistemi vengono comunemente utilizzati i bersagli rotanti in carburo di silicio?
A3: Sono utilizzati principalmente nei sistemi industriali di sputtering continuo e di deposizione di film sottili su grandi superfici.
D4: La struttura del bersaglio rotante influisce sull’uniformità del film?
A4: Un bersaglio rotante ben progettato contribuisce a migliorare lo spessore del film e l’uniformità della composizione.
Ogni lotto viene fornito con:
Certificato di analisi (COA)
Scheda di sicurezza (MSDS)
Rapporto di ispezione delle dimensioni
Rapporti di test di terze parti disponibili su richiesta
Abbiamo una conoscenza strutturale e un’esperienza nella fornitura nel campo dei bersagli rotanti in ceramica, che ci consentono di fornire bersagli rotanti in carburo di silicio stabili e tracciabili, supportando i clienti nel raggiungimento di una deposizione di film sottili stabile e altamente coerente nei processi di sputtering continuo.
Formula molecolare: SiC
Peso molecolare: 52,11 g/mol
Aspetto: Tubo nero, denso e rotante
Densità: 3,21-3,22 g/cm³ (bersaglio sinterizzato)
Punto di fusione: 2730 °C (si decompone)
Struttura cristallina: Esagonale (α-SiC); Cubica (β-SiC)
Imballaggio interno: sacchetti sottovuoto e scatole per prevenire la contaminazione e l’umidità.
Imballaggio esterno: cartoni o casse di legno selezionati in base alle dimensioni e al peso.
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