{"id":57701,"date":"2026-01-20T13:46:07","date_gmt":"2026-01-20T05:46:07","guid":{"rendered":"https:\/\/ulpmat.com\/product\/silicium-2\/"},"modified":"2026-01-20T13:46:07","modified_gmt":"2026-01-20T05:46:07","slug":"silicium-2","status":"publish","type":"product","link":"https:\/\/ulpmat.com\/fr\/produit\/silicium-2\/","title":{"rendered":"Silicium"},"content":{"rendered":"

Silicium <\/a><\/span>Les cibles rotatives sont des mat\u00e9riaux de pulv\u00e9risation cylindriques con\u00e7us pour les syst\u00e8mes de pulv\u00e9risation magn\u00e9tron et le d\u00e9p\u00f4t de couches minces sur de grandes surfaces. Par rapport aux cibles en silicium planes classiques, les cibles rotatives offrent un meilleur rendement d\u2019utilisation du mat\u00e9riau, un fonctionnement continu plus stable et conviennent aux applications industrielles de rev\u00eatement, notamment les rev\u00eatements optiques, les technologies photovolta\u00efques, la recherche sur les semi-conducteurs et les applications avanc\u00e9es de couches minces.<\/p>\n

Nous pouvons fournir des cibles rotatives en silicium de diff\u00e9rentes structures et tailles en fonction des exigences des \u00e9quipements, en assurant la communication des processus et l\u2019int\u00e9gration technique. N\u2019h\u00e9sitez pas \u00e0 contactez-nous<\/a><\/span> directement pour obtenir des solutions.<\/p>\n

Pr\u00e9sentation des cibles rotatives en silicium<\/span><\/h2>\n

Les cibles rotatives en silicium<\/a><\/span> (Si) sont des cibles de pulv\u00e9risation cylindriques de haute puret\u00e9 utilis\u00e9es dans les syst\u00e8mes de pulv\u00e9risation magn\u00e9tron pour les proc\u00e9d\u00e9s de d\u00e9p\u00f4t physique en phase vapeur (PVD). Le silicium est un semi-conducteur et un mat\u00e9riau fonctionnel largement utilis\u00e9 en raison de ses excellentes propri\u00e9t\u00e9s \u00e9lectriques, de ses caract\u00e9ristiques optiques et de sa stabilit\u00e9 chimique. Dans les applications de pulv\u00e9risation, les cibles en silicium sont couramment utilis\u00e9es pour d\u00e9poser des films minces \u00e0 base de silicium destin\u00e9s aux dispositifs \u00e9lectroniques, aux rev\u00eatements optiques, aux technologies solaires et aux applications de recherche.<\/p>\n

Par rapport aux cibles en silicium planes traditionnelles, les cibles rotatives offrent une meilleure utilisation de la cible et des cycles de fonctionnement plus longs, ce qui les rend adapt\u00e9es aux proc\u00e9d\u00e9s de rev\u00eatement \u00e0 haut d\u00e9bit. ULPMAT fournit des cibles rotatives en silicium de haute puret\u00e9 avec des sp\u00e9cifications personnalis\u00e9es, notamment en termes de niveau de puret\u00e9, de dimensions, d\u2019exigences de collage et d\u2019options d\u2019emballage.<\/p>\n

Caract\u00e9ristiques techniques principales de la cible rotative en silicium<\/span><\/h2>\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n
Param\u00e8tre<\/strong><\/td>\nSp\u00e9cification<\/strong><\/td>\n<\/tr>\n
Mat\u00e9riau<\/td>\nSilicium (Si)<\/td>\n<\/tr>\n
Formule chimique<\/td>\nSi<\/td>\n<\/tr>\n
Num\u00e9ro CAS<\/td>\n7440-21-3<\/td>\n<\/tr>\n
Puret\u00e9<\/td>\n99,999 % \/ 99,95 % (la puret\u00e9 est d\u00e9termin\u00e9e par le proc\u00e9d\u00e9)<\/td>\n<\/tr>\n
Type de cible<\/td>\nRotatif<\/td>\n<\/tr>\n
Forme<\/td>\nCylindrique<\/td>\n<\/tr>\n
Proc\u00e9d\u00e9<\/td>\nD\u00e9p\u00f4t par pulv\u00e9risation magn\u00e9tron<\/td>\n<\/tr>\n
Assemblage<\/td>\nDisponible sur demande<\/td>\n<\/tr>\n
Dimensions sur mesure<\/td>\nDisponible<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n
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Avantages des cibles rotatives en silicium<\/span><\/h2>\n

Rendement \u00e9lev\u00e9 :<\/strong> Les cibles rotatives offrent g\u00e9n\u00e9ralement un meilleur rendement que les cibles planes, car l\u2019\u00e9rosion se produit de mani\u00e8re continue sur toute la surface cylindrique. Cela permet de r\u00e9duire la fr\u00e9quence de remplacement des cibles et d\u2019am\u00e9liorer l\u2019efficacit\u00e9 de production lors de processus de pulv\u00e9risation de longue dur\u00e9e.<\/p>\n

D\u00e9p\u00f4t stable de couches minces :<\/strong> La g\u00e9om\u00e9trie cylindrique des cibles rotatives permet une distribution stable du plasma et un comportement d\u2019\u00e9rosion constant, ce qui contribue \u00e0 maintenir une qualit\u00e9 uniforme du film mince lors des op\u00e9rations de rev\u00eatement en continu.<\/p>\n

Adapt\u00e9es au rev\u00eatement de grandes surfaces :<\/strong> Les cibles rotatives en silicium sont particuli\u00e8rement adapt\u00e9es aux syst\u00e8mes de rev\u00eatement de grandes surfaces o\u00f9 un d\u00e9p\u00f4t uniforme et un fonctionnement prolong\u00e9 sont requis.<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n

Applications des cibles rotatives en silicium<\/span><\/h2>\n

D\u00e9p\u00f4t de couches minces sur de grandes surfaces :<\/strong> adapt\u00e9es aux proc\u00e9d\u00e9s de d\u00e9p\u00f4t de couches minces sur des substrats de grande surface, elles contribuent \u00e0 am\u00e9liorer l\u2019uniformit\u00e9 des couches et la stabilit\u00e9 du proc\u00e9d\u00e9.
\nProc\u00e9d\u00e9s de rev\u00eatement pour \u00e9crans et syst\u00e8mes photovolta\u00efques :<\/strong><\/a><\/span> Dans la fabrication de panneaux d\u2019affichage et de cellules photovolta\u00efques \u00e0 couches minces, la structure de la cible rotative permet de r\u00e9pondre aux exigences de production en continu en mati\u00e8re de coh\u00e9rence du d\u00e9p\u00f4t.
\nPr\u00e9paration de rev\u00eatements fonctionnels :<\/strong> Adapt\u00e9es \u00e0 la pr\u00e9paration de rev\u00eatements \u00e9lectriques, optiques<\/a><\/span>ou protecteurs, r\u00e9pondant aux exigences de performance de diff\u00e9rents sc\u00e9narios d\u2019application.
\nR&D et validation des proc\u00e9d\u00e9s :<\/strong> Largement utilis\u00e9es pour optimiser les nouveaux param\u00e8tres de proc\u00e9d\u00e9 et \u00e9tudier le comportement des mat\u00e9riaux, elles permettent de r\u00e9aliser des essais stables dans des conditions de pulv\u00e9risation par rotation.<\/p>\n

Cible rotative en silicium vs cible plane en silicium<\/span><\/h2>\n\n\n\n\n\n\n\n\n
Caract\u00e9ristique<\/strong><\/td>\nCible rotative en silicium<\/strong><\/td>\nCible en silicium plane<\/strong><\/td>\n<\/tr>\n
Utilisation de la cible<\/td>\nPlus \u00e9lev\u00e9e<\/td>\nPlus faible<\/td>\n<\/tr>\n
Fonctionnement continu<\/td>\nExcellente<\/td>\nLimit\u00e9<\/td>\n<\/tr>\n
Rev\u00eatement de grandes surfaces<\/td>\nConvient<\/td>\nAdapt\u00e9<\/td>\n<\/tr>\n
Fr\u00e9quence de remplacement de la cible<\/td>\nPlus faible<\/td>\nPlus \u00e9lev\u00e9e<\/td>\n<\/tr>\n
D\u00e9p\u00f4t \u00e0 l’\u00e9chelle industrielle<\/td>\nPr\u00e9f\u00e9r\u00e9<\/td>\nLimit\u00e9<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n

Personnalisation disponible<\/span><\/h2>\n

ULPMAT fournit des cibles rotatives en silicium aux sp\u00e9cifications personnalis\u00e9es selon les exigences des clients.<\/p>\n

Les options disponibles comprennent :<\/p>\n