| Product ID | Formula | Purity | Dimension | Inquiry |
|---|---|---|---|---|
| 4000ST001 | Zr | 99.5% (Zr + Hf) | Ø 130 mm x 20 mm | Inquire |
| 4000ST002 | Zr | 99.5% (Zr + Hf) | Ø 152.4 mm x 6.35 mm | Inquire |
| 4000ST003 | Zr | 99.95% (Zr + Hf) | Ø 50.8 mm x 3.175 mm | Inquire |
| 4000ST004 | Zr | 99.95% (Zr + Hf) | Ø 50.8 mm x 6.35 mm | Inquire |
| 4000ST005 | Zr | 99.95% (Zr + Hf) | Ø 75 mm x 3 mm | Inquire |
| 4000ST006 | Zr | 99.95% (Zr + Hf) | Ø 125 mm x 3 mm | Inquire |
| 4000ST007 | Zr | 99.95% (Zr + Hf) | Ø 125 mm x 6 mm | Inquire |
Les cibles de pulvérisation
en zirconium métallique
sont des matériaux métalliques de haute pureté conçus pour le dépôt de couches minces de précision dans des industries de pointe telles que les semi-conducteurs, l’optique et les revêtements protecteurs. Fabriquées à partir de zirconium d’une pureté de 99,95 %, ces cibles se caractérisent par une excellente densité, une microstructure uniforme et des performances de pulvérisation stables, permettant d’obtenir des couches minces de haute qualité et très homogènes.
Nous proposons des cibles de pulvérisation en zirconium dans une large gamme de dimensions et de formes, notamment des cibles planes, circulaires et usinées sur mesure. Des services de collage
et des emballages spécialisés sont disponibles pour garantir la compatibilité avec différents systèmes PVD. Pour toute question technique ou relative à l’application, notre équipe vous apporte son soutien et ses conseils.
Haute pureté
Corps de cible haute densité pour une pulvérisation stable
Finition de surface lisse et composition uniforme
Tailles, formes et collage de plaques de support personnalisés
Idéal pour
dans les domaines des semi-conducteurs
, de l’optique
et des revêtements protecteurs
Semi-conducteurs
et électronique : pour les couches barrières, les films conducteurs et les composants à couche mince dans les dispositifs microélectroniques.
Films optiques
: utilisés pour produire des revêtements optiques réfléchissants, protecteurs ou résistants à la corrosion.
Aérospatiale et composants à haute température : appliqués pour former des revêtements fonctionnels sur des pièces nécessitant une résistance à l’oxydation et à la corrosion.
Énergie et matériaux fonctionnels : utiles dans les matériaux liés à l’hydrogène, les films catalytiques et la recherche avancée sur les films minces.
Q1 : Quelles sont les options d’emballage pour les cibles de pulvérisation en zirconium ?
R1 : Les produits sont emballés à l’aide d’une protection en mousse, d’un emballage sous vide ou d’un emballage de qualité salle blanche, en fonction de la taille et des exigences de pureté. Des emballages personnalisés sont également disponibles.
Q2 : Les cibles supportent-elles des conditions de pulvérisation à haute puissance ?
R2 : Oui. Grâce à leur haute densité et à leur microstructure stable, les cibles en zirconium fonctionnent de manière fiable sous pulvérisation CC et RF, même à des niveaux de puissance élevés.
Q3 : Comment les cibles de pulvérisation en zirconium doivent-elles être stockées ?
A3 : Stockez-les dans un environnement propre, sec et peu humide, de préférence dans un emballage scellé. Évitez les environnements corrosifs et veillez à ce que la surface ne soit pas contaminée.
Q4 : La taille de la cible et le type de plaque de support peuvent-ils être personnalisés ?
A4 : Absolument. Nous proposons un usinage personnalisé, un collage de cibles
(Cu/Mo/SS) et une personnalisation
complète en fonction des spécifications de l’équipement.
Chaque lot est fourni avec :
Certificat d’analyse (COA)
Fiche de données de sécurité (MSDS)
Des rapports d’essais effectués par des tiers sont disponibles sur demande.
Qualité constante du film : le matériau à haute densité garantit des taux de pulvérisation stables et un dépôt de film uniforme.
Personnalisation flexible : les dimensions, les formes, les styles de collage et les degrés de pureté peuvent être adaptés sur demande.
Assistance technique experte : nous fournissons des conseils sur le choix des matériaux, les paramètres de pulvérisation et l’application des films.
Assurance qualité : chaque produit est livré avec un COA et une MSDS, et une vérification par un tiers est disponible.
Approvisionnement fiable et livraison rapide : notre capacité de production avancée garantit une disponibilité constante et une expédition dans les délais.
Formule moléculaire : Zr
Poids atomique : 91,22 g/mol
Aspect : Matériau cible métallique gris argenté de grande pureté, avec une surface lisse et une structure dense.
Densité : Environ 6,52 g/cm³ : Environ 6,52 g/cm³
Point de fusion : Environ 1 855 °C
Point d’ébullition : Environ 4 377 °C
Structure cristalline : Hexagonale empilée (hcp, α-Zr, phase à température ambiante)
Emballage intérieur : sacs sous vide et boîtes afin d’éviter toute contamination et humidité.
Emballage extérieur : cartons ou caisses en bois sélectionnés en fonction de la taille et du poids.
Si vous avez besoin d'un service, veuillez nous contacter
