Les cibles de pulvérisation
en tantalate de lithium
sont des cibles en matériau fonctionnel hautement dense et homogène utilisées dans la fabrication de films minces, la recherche sur les dispositifs optoélectroniques et la recherche sur les dispositifs piézoélectriques. Elles sont largement utilisées dans les dispositifs à ondes acoustiques de surface (SAW), les modulateurs optiques
et le dépôt de films minces fonctionnels microélectroniques.
Nous pouvons fournir des cibles de pulvérisation LiTaO3 très denses et homogènes. La taille, l’épaisseur et la forme peuvent être personnalisées selon les besoins du client. Contactez-nous
pour obtenir des échantillons ou des solutions personnalisées !
La haute densité garantit un dépôt uniforme de couches minces
La structure cristalline stable garantit des résultats fiables en matière de dépôt de couches minces
Taille, épaisseur et forme personnalisables
Prise en charge de la recherche et de la fabrication industrielle de couches minces
Finition de surface fine, faible taux de défauts
Réponse rapide de notre équipe technique
Dispositifs à ondes acoustiques de surface :
utilisés pour le dépôt de films minces sur des dispositifs SAW afin d’améliorer les performances des dispositifs et la précision des signaux.
Dispositifs optoélectroniques
: soutient la fabrication de modulateurs optiques et de films minces optiques non linéaires, garantissant des performances optiques stables.
Capteurs piézoélectriques :
utilisés pour le dépôt de films minces dans les capteurs de pression, d’accélération et acoustiques afin d’améliorer la sensibilité et la vitesse de réponse.
Films minces fonctionnels microélectroniques :
utilisés pour le dépôt de films minces de haute précision dans les dispositifs MEMS et microélectroniques, garantissant la fonctionnalité et l’uniformité.
Q1 : La cible LiTaO3 est-elle adaptée au pulvérisation magnétron haute puissance ?
A1 : Oui, les cibles à haute densité maintiennent des structures cristallines stables sous pulvérisation magnétron haute puissance, garantissant l’uniformité du film mince.
Q2 : La taille et l’épaisseur de la cible peuvent-elles être personnalisées ?
R2 : Oui, des cibles de différentes tailles et épaisseurs, y compris des formes circulaires, carrées et spéciales, peuvent être fournies en fonction des exigences de l’équipement.
Q3 : Le taux de défauts de surface de la cible est-il élevé ?
R3 : La surface est polie avec précision, ce qui se traduit par un faible taux de défauts, adapté à la fabrication de films minces de haute précision.
Q4 : À quels types de films minces la cible est-elle adaptée pour le dépôt ?
A4 : Convient aux films minces fonctionnels ferroélectriques/piézoélectriques, aux films minces optoélectroniques et aux films minces fonctionnels microélectroniques.
Chaque lot est fourni avec :
Certificat d’analyse (COA)
Fiche de données de sécurité (MSDS)
Rapport d’inspection des dimensions
Rapports d’essais effectués par des tiers disponibles sur demande
Nous avons de nombreuses années d’expérience dans la production de cibles de pulvérisation pour matériaux fonctionnels et fournissons des cibles de pulvérisation LiTaO3 personnalisées et de haute qualité afin de garantir la stabilité et l’efficacité du dépôt de films minces dans la recherche scientifique et les applications industrielles. Notre équipe technique fournit une réponse rapide et un soutien professionnel pour aider les clients à obtenir des films minces de haute précision.
Formule moléculaire : LiTaO₃
Poids moléculaire : 235,89 g/mol
Aspect : Matériau cible solide, dense et de couleur claire
Densité : 7,46 g/cm³
Point de fusion : 1650 °C
Structure cristalline : Trigonal
Emballage intérieur : sacs sous vide et boîtes afin d’éviter toute contamination et humidité.
Emballage extérieur : cartons ou caisses en bois sélectionnés en fonction de la taille et du poids.
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