Les cibles de pulvérisation
en silicium-molybdène-bore
sont des cibles en alliage ternaire haute performance qui possèdent une excellente dureté, une excellente résistance à la chaleur et une excellente uniformité de film. Elles sont largement utilisées dans les revêtements hautement résistants à l’usure, les films minces fonctionnels et les processus de dépôt pour dispositifs électroniques.
Nous pouvons fournir des cibles de pulvérisation SiMoB compatibles avec les processus et prendre en charge
l’intégration technique
de la structure de la cible et des paramètres de dépôt.
Composition stable du film
Dureté et résistance à l’usure élevées
Bonne stabilité thermique
Forte compatibilité avec les processus
Prise en charge de plusieurs processus de pulvérisation
Revêtements résistants à l’usure et protecteurs :
les cibles SiMoB peuvent être utilisées pour préparer des films minces protecteurs à haute dureté, améliorant ainsi la durée de vie des composants.
Préparation de films minces fonctionnels :
convient au dépôt de couches fonctionnelles et de dispositifs électroniques, améliorant la cohérence des performances du film.
Films minces résistants à la chaleur à haute température :
les films conservent leur stabilité structurelle même dans des conditions de température élevée.
Recherche et validation des processus :
utilisés pour la recherche et l’optimisation des paramètres des nouveaux matériaux et des processus de films minces.
Q1 : À quelles applications de films minces la cible de pulvérisation en silicium-molybdène-bore est-elle adaptée ?
A1 : Principalement utilisée pour les revêtements hautement résistants à l’abrasion, les films minces fonctionnels et le dépôt de films minces dans les appareils électroniques.
Q2 : Comment cette cible se comporte-t-elle dans le dépôt à haute température ?
R2 : Les cibles en alliage ternaire conservent leur stabilité structurelle et leur composition dans des conditions de température élevée.
Q3 : À quels procédés de pulvérisation la cible en silicium-molybdène-bore est-elle adaptée ?
R3 : Elle est adaptée à la pulvérisation magnétron et à d’autres procédés conventionnels de dépôt de films minces.
Q4 : La composition de la cible a-t-elle une incidence sur les performances du film mince ?
A4 : Une conception appropriée de la composition peut améliorer la dureté, l’adhérence et l’uniformité du dépôt du film mince.
Chaque lot est fourni avec :
Certificat d’analyse (COA)
Fiche de données de sécurité (MSDS)
Rapport d’inspection des dimensions
Rapports d’essais effectués par des tiers disponibles sur demande
Nous disposons d’une grande expérience en matière d’approvisionnement et de technologie dans le domaine des cibles de pulvérisation multi-alliages, et pouvons fournir des cibles de pulvérisation SiMoB stables et traçables afin d’aider nos clients à obtenir une grande cohérence et une grande fiabilité dans le dépôt de couches minces pendant les phases de R&D et de production en série.
Formule moléculaire : SiMoB
Aspect : Cible dense gris argenté
Densité : 6,5-7,2 g/cm³ (en fonction du rapport Si:Mo:B)
Emballage intérieur : sacs sous vide et boîtes afin d’éviter toute contamination et humidité.
Emballage extérieur : cartons ou caisses en bois sélectionnés en fonction de la taille et du poids.
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