Les cibles de pulvérisation
en oxyde de lithium et de cobalt
sont des cibles en oxyde céramique conçues pour le dépôt en couche mince de couches fonctionnelles en LiCoO₂. Elles sont largement utilisées dans les couches minces pour batteries, les dispositifs micro-énergétiques et la recherche électrochimique, où un contrôle précis de la composition et un comportement de dépôt stable sont requis.
ULPMAT fournit des cibles de pulvérisation en oxyde de lithium-cobalt avec une stœchiométrie contrôlée et une microstructure dense, adaptées aux processus de pulvérisation RF et magnétron. Les cibles sont conçues pour favoriser une croissance uniforme du film, des taux de pulvérisation stables et des performances reproductibles des films minces.
Composition stœchiométrique en LiCoO₂ pour une chimie fiable du film
Structure céramique dense favorisant un comportement de pulvérisation stable
Microstructure uniforme pour une épaisseur de film constante
Convient aux systèmes de pulvérisation RF et magnétron
Bonne compatibilité d’adhérence avec les substrats courants
Conçu pour les applications de batteries et de films minces électrochimiques
Batteries lithium-ion à film mince :
les cibles de pulvérisation en oxyde de cobalt-lithium sont utilisées pour déposer des couches cathodiques pour les dispositifs à film mince et les micro-batteries.
Microélectronique et MEMS :
les films minces de LiCoO₂ sont utilisés dans les composants de stockage d’énergie micro-électroniques intégrés aux appareils électroniques.
Recherche sur les matériaux électrochimiques et énergétiques :
les cibles sont largement utilisées dans la recherche universitaire et industrielle pour étudier le transport du lithium-ion et les performances électrochimiques sous forme de film mince.
Films minces d’oxyde fonctionnel
: les cibles en oxyde de lithium-cobalt favorisent le développement de revêtements d’oxyde fonctionnel pour des applications énergétiques avancées.
Q1 : Quelles méthodes de pulvérisation sont adaptées aux cibles d’oxyde de cobalt et de lithium ?
A1 : Les cibles de pulvérisation d’oxyde de cobalt et de lithium sont généralement utilisées dans les systèmes de pulvérisation RF ou magnétron.
Q2 : La perte de lithium est-elle un problème lors de la pulvérisation ?
A2 : Une conception appropriée de la cible et des paramètres de pulvérisation optimisés permettent de maintenir la composition du film et de réduire la volatilité du lithium.
Q3 : Ces cibles peuvent-elles être collées sur des plaques de support ?
R3 : Oui, les cibles peuvent être fournies avec des options de collage adaptées en fonction des exigences du système.
Q4 : Quels substrats sont compatibles avec les films minces de LiCoO₂ ?
R4 : Les substrats courants comprennent les plaquettes de silicium, le verre, le saphir et les substrats métalliques utilisés dans la recherche sur les batteries à film mince.
Chaque lot est fourni avec :
Certificat d’analyse (COA)
Fiche de données de sécurité (MSDS)
Rapport d’inspection des dimensions
Rapports d’essais effectués par des tiers disponibles sur demande
ULPMAT se concentre sur les matériaux énergétiques et oxydes fonctionnels avancés, offrant une qualité contrôlée, une assistance technique et un approvisionnement fiable pour les applications de cibles de pulvérisation dans la recherche sur les batteries et les films minces.
Formule moléculaire : LiCoO₂
Poids moléculaire : 97,87 g/mol
Aspect : Cible solide dense noire ou gris foncé
Densité : 5,05 g/cm³.
Structure cristalline : Hexagonale
Emballage intérieur : sacs sous vide et boîtes afin d’éviter toute contamination et humidité.
Emballage extérieur : cartons ou caisses en bois sélectionnés en fonction de la taille et du poids.
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