Les cibles de pulvérisation
d’oxyde de lithium
sont utilisées dans les processus avancés de dépôt de couches minces pour produire des revêtements contenant du lithium dans les batteries à l’état solide, les films conducteurs transparents et les semi-conducteurs à base d’oxyde. Grâce à leur excellente réactivité et leur teneur élevée en lithium, les cibles Li₂O servent de source de lithium dans les systèmes de pulvérisation magnétron et PLD (dépôt par laser pulsé).
Nos cibles de pulvérisation en oxyde de lithium sont fabriquées à partir d’une poudre de haute pureté (pureté typique ≥ 99,9 %), frittée ou pressée à chaud pour obtenir une densité et une uniformité élevées. Nous offrons également un service d’assistance commerciale complet. N’hésitez pas à nous contacter
si vous avez des questions.
Pureté : ≥99,9 % (3N)
Teneur élevée en lithium pour un dopage ou une formation de composés efficaces
Dimensions personnalisées et services de collage disponibles
Microstructure dense et uniforme pour des taux de pulvérisation stables
Degrés de pureté : 3N (99,9 %) standard ; 4N et plus disponibles sur demande
Formes des cibles : circulaires, rectangulaires ou géométries personnalisées
Dimensions : diamètres typiques 1″–8″, épaisseur 3–10 mm ; personnalisables
Collage
: collage optionnel sur des plaques de support (Cu, Mo) avec de l’indium ou de l’époxy
Batteries
au lithium à l’état solide : dépôt en couche mince d’électrolytes solides riches en lithium (par exemple, LLZO, type LISICON, LiPON)
Dispositifs électrochromiques : pour les films d’oxyde intercalés au lithium dans les applications de fenêtres intelligentes
Oxydes conducteurs transparents : agent dopant pour des matériaux tels que le ZnO et l’ITO afin de modifier les propriétés électroniques
Films minces fonctionnels : utilisés dans la formation de couches d’oxyde contenant du lithium pour des dispositifs électroniques avancés
Q1 : À quels types de films minces les cibles de pulvérisation d’oxyde de lithium sont-elles principalement utilisées ?
R1 : Ces cibles de pulvérisation sont principalement utilisées pour la préparation de films minces fonctionnels à base d’oxyde de lithium, couramment utilisés dans des domaines de recherche tels que les matériaux fonctionnels à base de lithium, les électrolytes solides et les films minces d’oxyde associés.
Q2 : Quelles sont les caractéristiques des matériaux à base d’oxyde de lithium lors du dépôt de films minces ?
R2 : Ce matériau présente les caractéristiques typiques des oxydes, ce qui permet de former des films minces fonctionnels avec une composition uniforme et une structure stable lors du dépôt par pulvérisation.
Q3 : Quels sont les procédés de pulvérisation adaptés à cette cible de pulvérisation à l’oxyde de lithium ?
A3 : Les cibles de pulvérisation à l’oxyde de lithium sont généralement adaptées aux procédés PVD tels que la pulvérisation par radiofréquence, répondant aux besoins de préparation de films minces dans les phases de recherche et à l’échelle pilote.
Q4 : Quelles précautions faut-il prendre lors de l’utilisation et du stockage des cibles de pulvérisation à l’oxyde de lithium ?
R4 : Il est recommandé d’installer et de stocker la cible dans un environnement sec et hermétique afin de minimiser le contact avec l’air et l’humidité, garantissant ainsi la stabilité du processus de pulvérisation et la qualité du film mince.
Toutes les cibles de pulvérisation Li₂O sont livrées avec un certificat d’analyse (COA) et une fiche de données de sécurité (FDS). Des rapports XRD, SEM et EDX peuvent être fournis sur demande.
Formule moléculaire : Li₂O
Poids moléculaire : 29.88 g/mol
Aspect : Matériau cible blanc
Densité : 2.013 g/cm³
Point de fusion : 1432 °C
Structure cristalline : Structure antifluorite (système cristallin cubique)
Emballage intérieur : sacs sous vide et boîtes afin d’éviter toute contamination et humidité.
Emballage extérieur : cartons ou caisses en bois sélectionnés en fonction de la taille et du poids.
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