Les cibles de pulvérisation
en oxyde de fer et de titane
sont des cibles céramiques essentielles utilisées dans les processus de dépôt physique en phase vapeur (PVD). Grâce à des technologies avancées telles que la pulvérisation magnétron, elles permettent de déposer des films minces d’oxyde composite avec une composition stable et uniforme sur des substrats. Ces films jouent un rôle fonctionnel important dans des domaines de haute technologie tels que les semi-conducteurs
, les revêtements optiques
, les capteurs et l’ingénierie des surfaces.
Nous fournissons de manière professionnelle une série de cibles de pulvérisation en oxyde de fer et de titane de haute pureté et haute densité, et proposons des personnalisations dans diverses spécifications, y compris des cibles
planes et rotatives
, afin de répondre à vos besoins spécifiques dans différents scénarios d’application et équipements de revêtement. Veuillez nous contacter si vous avez besoin d’une fiche technique détaillée du produit.
Stœchiométrie strictement contrôlée
Pureté ultra-élevée, teneur en impuretés extrêmement faible
Densité élevée et excellente uniformité de la microstructure
Performances de pulvérisation et taux de formation de film stables
Prise en charge des processus de pulvérisation réactive et de pulvérisation à moyenne fréquence
Assure un contrôle qualité de bout en bout, des matières premières aux produits finis
Revêtement optique avancé :
les cibles sont utilisées pour déposer des films optiques minces haute performance sur des substrats tels que le verre, notamment des films antireflets, des films à faible émissivité (LOW-E) et des films de contrôle solaire. Ceux-ci régulent efficacement la transmission et la réflexion de la lumière, améliorant ainsi les performances du verre architectural et des composants optiques.
Semi-conducteurs et dispositifs fonctionnels :
les films minces d’oxyde de fer et de titane déposés peuvent être utilisés pour préparer des couches fonctionnelles spécifiques, telles que des couches diélectriques ou sensibles dans des dispositifs à semi-conducteurs, appliquées dans les domaines de la microélectronique et des capteurs.
Revêtements de protection et de modification de surface :
grâce aux procédés de pulvérisation, un revêtement protecteur d’oxyde dense et dur peut être formé à la surface d’outils, de moules ou de composants critiques, améliorant considérablement leur résistance à l’usure, leur résistance à la corrosion et leur durée de vie.
Recherche scientifique de pointe et développement de nouveaux matériaux :
en tant que matériaux expérimentaux essentiels, ils servent à l’exploration et à la recherche de nouveaux films minces fonctionnels, de matériaux catalytiques et de matériaux énergétiques (tels que la photoélectrocatalyse), fournissant une base matérielle pour l’innovation technologique.
Q1 : Quel est le niveau de pureté typique des cibles d’oxyde de fer et de titane ?
A1 : La pureté de nos produits peut être personnalisée en fonction des exigences de l’application, pouvant atteindre 99,9 %. La teneur en éléments d’impuretés clés est contrôlée à des niveaux extrêmement bas afin de répondre aux exigences strictes des processus de revêtement optique ou de semi-conducteurs.
Q2 : Comment choisir la taille et la forme de cible appropriées pour mon équipement de revêtement ?
R2 : Nous proposons une variété de formes standardisées, y compris des cibles planes et rotatives, et acceptons les tailles personnalisées. Il vous suffit de fournir le modèle de l’équipement ou les dessins spécifiques et les exigences techniques, et notre équipe technique vous recommandera ou concevra la solution la plus adaptée à vos besoins.
Q3 : Quel est le cycle de production pour commander une cible de composition non standard ou de spécification spéciale ?
R3 : Le cycle de personnalisation dépend de la complexité de la formulation et de la difficulté de traitement. Pour les ajustements basés sur des processus matures, cela prend généralement plusieurs semaines ; pour les développements entièrement nouveaux, nous devons procéder à une évaluation du processus. Après avoir reçu vos exigences spécifiques, nous vous fournirons un calendrier détaillé et un devis dans les plus brefs délais.
Q4 : Quelles précautions particulières doivent être prises lors de l’utilisation de cibles de pulvérisation en céramique pour garantir la stabilité du processus ?
R4 : Lorsque vous utilisez des cibles de pulvérisation en céramique, veillez à les installer correctement et évitez de les serrer excessivement afin d’éviter toute fissure. Il est également recommandé d’effectuer un pré-pulvérisation minutieuse pour nettoyer la surface de la cible. Pour les processus de pulvérisation réactive, un contrôle précis de la pression partielle d’oxygène et l’utilisation d’une alimentation électrique à moyenne fréquence sont essentiels pour maintenir la stabilité de la pulvérisation et éviter l’empoisonnement de la cible et la formation d’arcs électriques.
Chaque lot est fourni avec :
Certificat d’analyse (COA)
Fiche technique (TDS)
Fiche de données de sécurité (MSDS)
Rapport d’inspection dimensionnelle
Rapports d’essais effectués par des tiers disponibles sur demande
Nous ne sommes pas seulement un fabricant de cibles de pulvérisation, mais aussi un partenaire de solutions pour vos défis techniques. Grâce à notre connaissance approfondie des propriétés des matériaux oxydés et à un contrôle strict et précis tout au long du processus, nous garantissons que chaque cible offre des performances excellentes et constantes. Nous nous engageons à devenir votre partenaire de confiance à long terme grâce à des produits professionnels et fiables et à des services efficaces et flexibles.
Formule moléculaire : FeTiO₃
Poids moléculaire : 151,71 g/mol
Aspect : Cible noire
Densité : 4,7 g/cm³ : 4,7 g/cm³
Point de fusion : >1300 °C
Structure cristalline : Hexagonale (type Ilménite)
Emballage intérieur : sacs sous vide et boîtes afin d’éviter toute contamination et humidité.
Emballage extérieur : cartons ou caisses en bois sélectionnés en fonction de la taille et du poids.
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