Les cibles de pulvérisation
en oxyde de calcium
sont des cibles céramiques haute performance utilisées dans la technologie de dépôt physique en phase vapeur (PVD). Elles sont principalement utilisées pour déposer des films d’oxyde de calcium présentant des propriétés uniques d’oxyde de métal alcalino-terreux, et ont une valeur significative pour la recherche et les applications dans des domaines de pointe tels que les dispositifs à semi-conducteurs
, les revêtements optiques et la protection des surfaces.
Nous sommes spécialisés dans la fourniture de cibles de pulvérisation à l’oxyde de calcium de haute pureté et haute densité. Un traitement dimensionnel de précision et un collage
sur plaque de support sont disponibles pour répondre aux exigences spécifiques de votre équipement et de vos processus. Pour des solutions personnalisées, n’hésitez pas à nous contacter
à tout moment.
Pureté et densité théorique ultra-élevées
Excellente stabilité chimique et thermique
Microstructure et orientation cristalline contrôlées avec précision
Faible teneur en impuretés garantissant les propriétés intrinsèques du film
Semi-conducteurs et dispositifs fonctionnels :
déposés comme matériaux diélectriques de grille ou couches tampons pour l’étude de nouveaux matériaux à constante diélectrique élevée ou l’ingénierie des interfaces dans les dispositifs à structure pérovskite.
Films et revêtements optiques :
utilisés pour fabriquer des films antireflets, protecteurs ou hautement réfléchissants pour des bandes de longueurs d’onde spécifiques (par exemple, UV ou IR), en explorant leurs applications potentielles dans des fenêtres optiques spécialisées.
Ingénierie et protection des surfaces :
déposés sous forme de revêtements résistants à l’oxydation à haute température ou de barrières de diffusion pour améliorer la stabilité des substrats métalliques dans des environnements extrêmes.
Recherche de pointe en science des matériaux :
sert de matériaux modèles ou de précurseurs pour étudier les mécanismes de croissance et les phénomènes interfaciaux des oxydes de métaux alcalino-terreux, ainsi que leurs nouvelles fonctions dans la catalyse, la détection et d’autres domaines.
Q1 : Le matériau cible à base d’oxyde de calcium est-il stable à l’air ? Comment doit-il être stocké ?
A1 : L’oxyde de calcium réagit facilement avec l’humidité et le dioxyde de carbone présents dans l’air, ce qui entraîne une dégradation de la surface. Il doit être stocké à long terme dans un environnement sous vide ou dans un gaz inerte sec. Un nettoyage ou une activation de la surface peut être nécessaire avant utilisation.
Q2 : Quelles conditions de traitement particulières sont généralement requises pour la pulvérisation avec cette cible ?
R2 : L’oxyde de calcium étant un matériau isolant, le mode de pulvérisation RF doit être utilisé. Pour obtenir des films avec une stœchiométrie précise, la pulvérisation réactive est généralement effectuée dans une atmosphère d’argon contenant une quantité appropriée d’oxygène. Un contrôle précis de la température du substrat et du taux de dépôt est également nécessaire.
Q3 : Quelles sont les principales caractéristiques des films d’oxyde de calcium ?
A3 : Les films d’oxyde de calcium présentent une constante diélectrique élevée, une large bande interdite et une excellente stabilité thermique. Leurs propriétés dépendent fortement du processus de dépôt, ce qui permet de créer divers matériaux fonctionnels, allant des isolants à ceux présentant une conductivité ionique.
Q4 : Pourquoi le collage est-il nécessaire pour les cibles en oxyde de calcium ?
A4 : Le collage assure la dissipation thermique et le soutien mécanique des cibles céramiques fragiles, empêchant ainsi leur fissuration pendant le pulvérisation.
Chaque lot est fourni avec :
Certificat d’analyse (COA)
Fiche de données de sécurité (MSDS)
Rapport d’inspection des dimensions
Rapports d’essais effectués par des tiers disponibles sur demande
Nous sommes spécialisés dans la R&D et la fabrication de cibles céramiques en oxyde haute performance, et disposons de solutions techniques matures et rigoureuses pour la préparation, le traitement et le stockage de matériaux hautement réactifs tels que l’oxyde de calcium. Nous veillons non seulement à ce que les cibles atteignent un niveau de pureté et de densité optimal à la livraison, mais nous accordons également la priorité à leur stabilité et à leur fiabilité lors de leur utilisation ultérieure.
Formule moléculaire : CaO
Poids moléculaire : 56.08 g/mol
Aspect : Matériau cible solide blanc
Densité : 3,34 g/cm³ : 3,34 g/cm³
Point de fusion : 2 572 °C
Point d’ébullition : 2 850 °C
Structure cristalline : Cubique à faces centrées
Emballage intérieur : sacs sous vide et boîtes afin d’éviter toute contamination et humidité.
Emballage extérieur : cartons ou caisses en bois sélectionnés en fonction de la taille et du poids.
Si vous avez besoin d'un service, veuillez nous contacter