Les cibles de pulvérisation
en monoxyde de titane
sont des cibles céramiques en sous-oxyde de titane dont les propriétés physiques et électriques se situent entre celles du titane métallique et celles de l’oxyde de titane à haute valence. Elles conviennent à la préparation de films minces fonctionnels présentant des exigences spécifiques en matière de conductivité, d’absorption optique et de contrôle structurel. Ce matériau est couramment utilisé dans les processus de dépôt de films minces nécessitant un contrôle précis de l’état d’oxydation du titane, et convient particulièrement aux applications de pulvérisation magnétron PVD.
Nous pouvons fournir des cibles de pulvérisation en monoxyde de titane de différentes spécifications et structures en fonction du système de pulvérisation et des exigences du processus du client, et nous proposons des services de traitement personnalisés. Veuillez nous contacter
pour confirmer les paramètres spécifiques de l’équipement ou les scénarios d’application.
Composition en sous-oxyde de titane, état d’oxydation contrôlable
Convient aux processus PVD tels que la pulvérisation magnétron
Composition uniforme, processus de pulvérisation stable
Facilite le contrôle précis des performances des films minces
Répond aux besoins de la recherche scientifique et des applications industrielles
Préparation de films minces fonctionnels :
peut être utilisé pour préparer des films minces d’oxyde de titane avec une conductivité et des réponses optiques spécifiques, adaptés aux couches fonctionnelles ou aux couches de transition.
Dispositifs électroniques et microélectroniques :
dans les dispositifs électroniques, les films minces de TiO₂ peuvent être utilisés pour la recherche liée au contrôle structurel ou à l’optimisation des performances.
Recherche optoélectronique et optique :
les films minces de monoxyde de titane ont une valeur de recherche dans l’absorption de la lumière et l’ajustement de la structure des films minces, et conviennent aux applications exploratoires dans les matériaux optoélectroniques.
Q1 : Quelles sont les principales différences entre les cibles de pulvérisation de monoxyde de titane et les cibles de TiO₂ ?
R1 : Le TiO₂ appartient à la sous-catégorie des oxydes de titane, et son état d’oxydation est inférieur à celui du TiO₂, ce qui entraîne des différences significatives dans les propriétés électriques et optiques. Il est plus adapté aux applications nécessitant un réglage fin des performances des films minces.
Q2 : Les cibles de pulvérisation en monoxyde de titane sont-elles adaptées à la pulvérisation DC ou RF ?
R2 : Elles peuvent être utilisées dans les systèmes de pulvérisation magnétron RF. La méthode de traitement spécifique doit être déterminée de manière exhaustive en fonction de la configuration de l’équipement et des paramètres de traitement.
Q3 : Lors de l’utilisation de cibles en TiO₂, la composition du film mince est-elle susceptible de changer ?
R3 : Dans des conditions de puissance de pulvérisation et d’atmosphère stables, les cibles à haute densité peuvent maintenir une bonne cohérence de composition, ce qui permet d’obtenir des résultats de film mince avec une bonne reproductibilité.
Q4 : Quelles précautions faut-il prendre lors du stockage et du transport des cibles de pulvérisation en monoxyde de titane ?
A4 : Il est recommandé de les stocker dans un environnement sec et propre, dans un conteneur hermétique, en évitant l’humidité ou la contamination, afin de garantir que la cible reste dans un état physique stable avant utilisation.
Chaque lot est fourni avec :
Certificat d’analyse (COA)
Fiche de données de sécurité (MSDS)
Rapport d’inspection des dimensions
Rapports d’essais effectués par des tiers disponibles sur demande
Nous sommes spécialisés dans la fourniture de cibles de pulvérisation fonctionnelles en céramique et en métal, nous possédons une expérience mature en matière de contrôle et de traitement des matériaux, et nous pouvons fournir aux clients du secteur de la recherche et de l’industrie des solutions stables et traçables pour les cibles de pulvérisation en monoxyde de titane.
Formule moléculaire : TiO₂
Aspect : Matériau cible noir
Densité : Environ 4,0 g/cm³
Point de fusion : Environ 1830 °C
Structure cristalline : Cubique
Emballage intérieur : sacs sous vide et boîtes afin d’éviter toute contamination et humidité.
Emballage extérieur : cartons ou caisses en bois sélectionnés en fonction de la taille et du poids.
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